[發(fā)明專利]超聲波變幅器和晶片的分割方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910566409.2 | 申請(qǐng)日： | 2019-06-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110712307B | 公開（公告）日： | 2023-03-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邱曉明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社迪思科 |
| 主分類號(hào)： | B28D5/04 | 分類號(hào)： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/78;B23K26/53 |
| 代理公司： | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 超聲波 變幅器 晶片 分割 方法 | ||
1.一種晶片的分割方法，該晶片的分割方法使用了超聲波變幅器，其中，
該超聲波變幅器具有：
振子，該振子具有輻射面，該輻射面以希望使該超聲波振動(dòng)集中的一點(diǎn)為中心而使該一點(diǎn)側(cè)凹陷從而形成為圓頂狀，并且從該輻射面輻射的超聲波振動(dòng)集中于作為該一點(diǎn)的焦點(diǎn)；以及
殼體，其對(duì)該振子的外周部進(jìn)行保持，
該晶片的分割方法具有如下的工序：
搬送和浸沒工序，將在內(nèi)部具有沿著分割預(yù)定線的改質(zhì)層的晶片載置于載置工作臺(tái)上，將該載置工作臺(tái)浸沒在水槽中，其中，所述改質(zhì)層是通過(guò)如下的方式形成的：在將具有透過(guò)該晶片的波長(zhǎng)的脈沖激光光線的聚光點(diǎn)定位于該晶片的內(nèi)部的狀態(tài)下，一邊對(duì)該晶片照射該脈沖激光光線，一邊使該脈沖激光光線沿著該晶片的該分割預(yù)定線移動(dòng)，從而形成所述改質(zhì)層；以及
分割工序，對(duì)定位于該晶片的上方的一個(gè)超聲波變幅器相對(duì)于該晶片的相對(duì)位置進(jìn)行控制而將該一個(gè)超聲波變幅器的該振子的該輻射面的焦點(diǎn)定位于該晶片的一條分割預(yù)定線或一個(gè)改質(zhì)層，使該一個(gè)超聲波變幅器沿著已浸沒的該晶片的該改質(zhì)層移動(dòng)，依次對(duì)該晶片的每個(gè)改質(zhì)層集中地賦予該超聲波振動(dòng)，從而將該晶片以該改質(zhì)層為起點(diǎn)進(jìn)行分割。
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