[發明專利]一種濕法光膠裝置的檢測方法及檢測裝置

有效

• 申請號: 201910559710.0
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN112147710B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 劉明放;吳萍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G01V8/12
• 分類號: G01V8/12
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明提供一種濕法光膠裝置的檢測方法及檢測裝置，用于檢測待測物，待測物包括底板、功能件和位于底板與功能件之間的液層，底板與功能件在液層揮發后粘結在一起，檢測裝置包括：光源和探測器，光源位于底板的側面或者底板的底面，底板的底面為底板遠離功能件一側的表面；探測器位于底板的底面，檢測方法包括：控制光源發出第一光束并入射到底板中；控制探測器接收被待測物反射的光斑；根據探測器接收到的光斑判斷是否存在液層；如果探測器接收到的光斑數量大于兩個，則確定待測物中存在液層。本發明提供一種濕法光膠裝置的檢測方法及檢測裝置，以實現對待測物中液層的檢測。

技術領域

本發明實施例涉及光學檢測技術，尤其涉及一種濕法光膠裝置的檢測方法及檢測裝置。

背景技術

浸沒光刻機對平面光柵測量系統的測量行程需求，決定了使用大面積光柵的必要性，而高精度、大面積光柵存在制作難度大、成本高等難點。玻璃材質的小面積光柵采用光膠技術與在大面積(玻璃)底板膠合，使得大面積光柵集成、使用成為可能。光膠技術本質是范德華力作用即分子力粘接，其粘合層的厚度可以忽略不計，且在固化過程中發生較少的變形，可以獲得更高的精度。傳統的干法光膠技術是將兩個干凈的平坦表面緊密接觸彼此的過程中，通過施加壓力，將兩個粘接件結合在一起，粘接點從初始接觸點迅速蔓延擴大至整個粘接面。由于存在外部力施加和幾乎無姿態糾正操作時間，此方法很難滿足有粘接精度需求的光柵測量面的集成。

干法光膠技術的改進性方法是濕法光膠技術(可以參見Techniques forSolution Assisted Optical Contacting_NASA(2012))。該方法不需要外力來引發粘合，因而減小了粘接件變形的風險。濕法光膠技術主要是在兩粘接件的光膠面之間增加易揮發液體。液體的引入排除了粘接面間的空氣，且有間層順滑作用，使得兩粘接件相對姿態調整時間提升至百秒級。隨著液體層緩慢蒸發，兩粘接件便可粘合在一起。這種方法容易實現光柵在底板上的集成。

受限于反射式光柵的光線和有限的集成可操作區域，兩粘接件(例如光柵和底板)間的液層厚度無法通過傳統光圈公差的檢測手段來檢測，因而無法確認其間層中的液體是否揮發完畢。

發明內容

本發明實施例提供一種濕法光膠裝置的檢測方法及檢測裝置，以實現對待測物中液層的檢測。

第一方面，本發明實施例提供一種濕法光膠檢測裝置的檢測方法，用于檢測待測物，所述待測物包括底板、功能件和位于所述底板與所述功能件之間的液層，所述底板與所述功能件在所述液層揮發后粘結在一起，所述檢測裝置包括：光源和探測器，所述光源位于所述底板的側面或者所述底板的底面，所述底板的底面為所述底板遠離所述功能件一側的表面；所述探測器位于所述底板的底面；所述檢測方法包括：

控制所述光源發出第一光束并入射到所述底板中；

控制所述探測器接收被所述待測物反射的光斑；

根據所述探測器接收到的光斑判斷是否存在液層；如果所述探測器接收到的光斑數量大于兩個，則確定所述待測物中存在所述液層。

可選地，所述控制所述光源發出第一光束并入射到所述底板中，包括：

控制所述光源發出半徑小于或者等于1mm的第一光束，并入射到所述底板中。

可選地，所述控制所述光源發出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源發出的第一光束從所述底板的側面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

可選地，所述控制所述光源發出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源發出的第一光束從所述底板遠離所述功能件一側的底面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

可選地，所述探測器接收到部分交疊的兩個光斑，部分交疊的兩個光斑分別為第一光斑和第二光斑，所述第一光斑與所述第二光斑的半徑相等；