[發明專利]一種濕法光膠裝置的檢測方法及檢測裝置

有效

• 申請號: 201910559710.0
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN112147710B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 劉明放;吳萍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G01V8/12
• 分類號: G01V8/12
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種濕法光膠檢測裝置的檢測方法，用于檢測待測物，所述待測物包括底板、功能件和位于所述底板與所述功能件之間的液層，所述底板與所述功能件在所述液層揮發后粘結在一起，其特征在于，所述檢測裝置包括：光源和探測器，所述光源位于所述底板的側面或者所述底板的底面，所述底板的底面為所述底板遠離所述功能件一側的表面；所述探測器位于所述底板的底面；所述檢測方法包括：

控制所述光源發出第一光束并入射到所述底板中；

控制所述探測器接收被所述待測物反射的光斑；

根據所述探測器接收到的光斑判斷是否存在液層；如果所述探測器接收到的光斑數量大于兩個，則確定所述待測物中存在所述液層。

2.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述控制所述光源發出第一光束并入射到所述底板中，包括：

控制所述光源發出半徑小于或者等于1mm的第一光束，并入射到所述底板中。

3.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述控制所述光源發出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源發出的第一光束從所述底板的側面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

4.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述控制所述光源發出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源發出的第一光束從所述底板遠離所述功能件一側的底面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

5.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述探測器接收到部分交疊的兩個光斑，部分交疊的兩個光斑分別為第一光斑和第二光斑，所述第一光斑與所述第二光斑的半徑相等；

在確定所述待測物中存在所述液層之后，所述檢測方法還包括：

根據所述探測器接收到的所述第一光斑和所述第二光斑之間的間距采用公式1計算得到所述液層的厚度；公式1滿足：

其中，S為所述探測器接收到的所述第一光斑和所述第二光斑之間的間距，h為所述液層的厚度，n₁為所述底板的折射率，n₂為所述液層的折射率，θ為所述光源發出的第一光束由所述底板照射到所述液層的入射角，t為所述第一光斑和所述第二光斑的放大倍數。

6.根據權利要求5所述的檢測方法，其特征在于，在所述根據所述探測器接收到的所述第一光斑和所述第二光斑之間的間距采用公式1計算得到所述液層的厚度之前，還包括：

在所述第一光斑和所述第二光斑的中心連線的方向上，檢測到所述第一光斑與所述第二光斑的交疊尺寸小于所述第一光斑的半徑時，采用公式2計算所述第一光斑與所述第二光斑之間的間距，公式2滿足：

S＝(l-2R)；

其中，l為所述第一光斑與所述第二光斑的邊緣上兩點之間的最遠距離，R為所述第一光斑的半徑；

在所述第一光斑和所述第二光斑的中心連線的方向上，檢測到所述第一光斑與所述第二光斑的交疊尺寸大于或者等于所述第一光斑的半徑時，采用公式3計算所述第一光斑與所述第二光斑之間的間距，公式3滿足：

其中，A₁為所述第一光斑與所述第二光斑的交疊面積。

7.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測裝置還包括位于所述底板與所述探測器之間且設置在反射路徑上的擴束部件；

在所述根據所述探測器接收到的光斑判斷是否存在液層之前，還包括：

控制所述擴束部件對被所述待測物反射的光斑進行擴束放大。

8.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測裝置還包括位于所述底板與所述探測器之間且設置在反射路徑上的校準部件；

在所述根據所述探測器接收到的光斑判斷是否存在液層之前，所述檢測方法還包括：

通過所述校準部件控制被所述待測物反射的光斑垂直地照射到所述探測器上。