[發明專利]檢測光刻掩模的結構的方法和實行該方法的裝置

有效

• 申請號: 201910558393.0
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN110631503B
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: U.馬特耶卡;T.謝魯布爾;M.科赫;C.胡斯曼;L.斯托普;B.M.穆特
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/14;G01B9/02;G03F1/84
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種檢測光刻掩模(5)的結構的方法，具有如下步驟：

-在至少一個優選的照明方向(18_i)上用至少部分相干的光源的照明光(1)來照明所述光刻掩模(5)的部分(3)，

-通過在檢測平面(8a)中空間分辨地檢測從所述照明的部分(3)所衍射的所述照明光(1)的衍射強度來記錄所述照明的部分(3)的衍射圖像(23)，

-對所述光刻掩模(5)的其他部分重復所述“照明”和“記錄”步驟，直到所檢測的部分完全覆蓋所述光刻掩模(5)的要檢測的區域，其中在所述光刻掩模(5)的由此檢測的至少兩個部分之間各存在重疊區域，所述重疊區域的表面范圍的測量值為所述兩個部分中較小的部分的至少5％，

-從所述照明的部分的記錄的衍射圖像計算所述光刻掩模(5)的結構，

-其中所述照明的部分(3)用若干優選的照明方向(18i)來照明，其中在各個情況下記錄用這些若干優選的照明方向(18i)所照明的部分(3)的衍射圖像(23)。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，使用相干衍射成像(CDI)或疊層成像的方法進行所述光刻掩模(5)的結構的計算。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法包括使用非霍普金斯近似。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，在從所述記錄的衍射圖像(23)計算所述光刻掩模(5)的結構中使用傅里葉變換。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，在從所述記錄的衍射圖像(23)計算所述光刻掩模(5)的結構中使用迭代傅里葉變換算法(IFTA)。

6.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，在從所述記錄的衍射圖像(23)計算所述光刻掩模(5)的結構中考慮所述光源(6)的相干度。

7.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述計算中使用所述光刻掩模上的所述照明的部分的測量位置。

8.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述測量通過薄膜發生。

9.一種裝置(2)，實行根據權利要求1至8中任一項所述的方法，

-具有光源(6)，以提供所述照明光(1)，

-具有空間分辨檢測器(8)，其布置在所述檢測平面(8a)中，以在所述衍射圖像(23)的記錄中檢測衍射強度，

-具有掩模夾持器(10)，其是可移動的以便于在所述光刻掩模(5)的要照明的部分之間改變。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，至少一個耦合反射鏡(21)將所述照明光(1)耦合到反射式光刻掩模(5)的照明的部分上，其中所述檢測器(8)布置為使得它接收所述照明的部分(3)反射的衍射圖像(23)。

11.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，在所述耦合反射鏡(21)之前的束路徑中的照明光(1)在物平面(4)和所述檢測器(8)之間行進。

12.根據權利要求10或11的裝置，其特征在于，所述耦合反射鏡(21)布置在所述照明光(1)的由所述照明的部分(3)反射的束路徑中。

13.根據權利要求9至11中任一項所述的裝置，其特征在于，所述照明光(1)在照射在所述照明的部分(3)上之前，被引導在所述檢測器(8)的檢測表面(20)的部分(20a、20b)之間。

14.根據權利要求9至11中任一項所述的裝置，其特征在于，所述掩模夾持器(10)是可傾斜的。

15.根據權利要求9至11中任一項所述的裝置，其特征在于，所述光源是基于同步加速器的光源(6)或HHG光源(6)。