[發(fā)明專利]一種智能存放晶圓的系統(tǒng)、裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910552674.5
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN110391161A
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發(fā)明（設計）人: 趙玉會;翁佩雪;郭文海;鄧丹丹;林錦偉;林偉銘
• 申請（專利權）人: 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;魏小霞

1.一種智能存放晶圓的系統(tǒng)，其特征在于，包括：錄入單元、判定單元、操作單元、晶圓存放格、不銹鋼柜體、機械手臂軌道和可旋轉(zhuǎn)機械手臂；

所述錄入單元用于：錄入外延片相關參數(shù)，所述外延片相關參數(shù)包括：外延片類型和/或外延片顆粒數(shù)；

所述判定單元用于：根據(jù)外延片相關參數(shù)及預設規(guī)則判定外延片等級；

所述操作單元用于：控制外延片的搭載/卸載；

所述晶圓存放格設置于所述不銹鋼柜體內(nèi)，所述晶圓存放格用于：存放外延片；

所述可旋轉(zhuǎn)機械手臂設置于機械手臂軌道上，所述可旋轉(zhuǎn)機械手臂用于：搬運外延片。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種智能存放晶圓的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：Load/Unload單元；

所述Load/Unload單元用于：放置產(chǎn)線搬運的晶圓匣盒，所述Load/Unload單元還用于：搭載/卸載所述晶圓匣盒上的外延片。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種智能存放晶圓的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：氮氣供氣系統(tǒng)；

所述氮氣供氣系統(tǒng)設置于所述不銹鋼柜體外，所述氮氣供氣系統(tǒng)用于：置換所述不銹鋼柜體內(nèi)水汽和氧氣到不銹鋼柜體外。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種智能存放晶圓的系統(tǒng)，其特征在于，

所述判定單元還用于：根據(jù)外延片的表面顆粒數(shù)判定外延片等級；

外延片的表面顆粒數(shù)不大于100的判定為級別A；

外延片的表面顆粒數(shù)介于101-200之間的判定為級別B；

外延片的表面顆粒數(shù)介于201-入料檢可允收顆粒數(shù)之間的判定為級別C。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種智能存放晶圓的系統(tǒng)，其特征在于，

所述晶圓存放格包括：晶圓存放托盤和傳感器；

所述晶圓存放托盤用于：存放晶圓；

所述傳感器用于：感應對應存放托盤是否有晶圓存放。

6.一種智能存放晶圓的裝置，其特征在于，包括：晶圓存放格、不銹鋼柜體、機械手臂軌道和可旋轉(zhuǎn)機械手臂；

所述晶圓存放格設置于所述不銹鋼柜體內(nèi)，所述晶圓存放格用于：存放外延片；

所述可旋轉(zhuǎn)機械手臂設置于機械手臂軌道上，所述可旋轉(zhuǎn)機械手臂用于：搬運外延片。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種智能存放晶圓的裝置，其特征在于，還包括：Load/Unload單元；

所述Load/Unload單元用于：放置產(chǎn)線搬運的晶圓匣盒，所述Load/Unload單元還用于：搭載/卸載所述晶圓匣盒上的外延片。

8.根據(jù)權利要求6所述的一種智能存放晶圓的裝置，其特征在于，還包括：氮氣供氣系統(tǒng)；

所述氮氣供氣系統(tǒng)設置于所述不銹鋼柜體外，所述氮氣供氣系統(tǒng)用于：置換所述不銹鋼柜體內(nèi)水汽和氧氣到不銹鋼柜體外。

9.根據(jù)權利要求6所述的一種智能存放晶圓的裝置，其特征在于，

所述晶圓存放格包括：晶圓存放托盤和傳感器；

所述晶圓存放托盤用于：存放晶圓；

所述傳感器用于：感應對應存放托盤是否有晶圓存放。

10.一種智能存放晶圓的方法，其特征在于，包括步驟：

獲取外延片相關參數(shù)，所述外延片相關參數(shù)包括：外延片類型和/或外延片顆粒數(shù)；

根據(jù)外延片相關參數(shù)及預設規(guī)則判定外延片等級；

接收并執(zhí)行外延片的搭載/卸載指令。