[發明專利]一種檢測裝置

有效

• 申請號: 201910551356.7
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN110243434B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 劉偉;張雷
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: G01F23/26
• 分類號: G01F23/26
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 李慶波

本申請公開了一種檢測裝置，該檢測裝置設置于用于盛放液體的容器中，并包括囊狀漂浮件、感應件及傳感器，其中，所述囊狀漂浮件包括一密封腔；所述感應件設置于所述密封腔內；所述傳感器固定于所述容器內的預設位置處，用于在所述囊狀漂浮件下移到預設位置時與所述感應件感應而發出信號。通過上述方式，本申請能夠提高檢測的準確率，以及擴大檢測裝置的適用范圍。

技術領域

本申請涉及檢測技術領域，特別是涉及一種檢測裝置。

背景技術

在有液體使用的裝置中，由于盛放液體的容器設置于裝置內部等因素而難以對容器內的液體或者其它部件的位置等進行直接觀察，因而需要設置相應的檢測裝置進行檢測。

相關技術中，有采用光電傳感器等進行檢測，然而，光電傳感器對光線具有一定的需求，從而在液體的透光度較低時，會在一定程度上影響光電傳感器檢測的準確率。

發明內容

本申請主要解決的技術問題是提供一種檢測裝置，能夠提高檢測的準確率，以及擴大檢測裝置的適用范圍。

為解決上述技術問題，本申請采用的一個技術方案是：提供一種檢測裝置，該檢測裝置設置于用于盛放液體的容器中，并包括囊狀漂浮件、感應件及傳感器，其中，所述囊狀漂浮件包括一密封腔；所述感應件設置于所述密封腔內；所述傳感器固定于所述容器內的預設位置處，用于在所述囊狀漂浮件下移到預設位置時與所述感應件感應而發出信號。

進一步地，所述檢測裝置還包括第一隔板，在所述第一隔板受到容器內的晶舟的壓力時，壓迫所述囊狀漂浮件向下運動，并與所述傳感器接觸而發出信號。

具體地，所述第一隔板朝向所述囊狀漂浮件的一側與所述囊狀漂浮件固定連接。

進一步地，所述檢測裝置還包括一壓塊，所述壓塊連接設置在所述第一隔板遠離所述囊狀漂浮件的一側，用于承載放入容器內的晶舟，且在承載所述晶舟時，壓迫所述第一隔板進而帶動所述囊狀漂浮件向下運動，并與所述傳感器接觸，所述傳感器與感應件感應而發出信號。

進一步地，所述檢測裝置還包括一與所述第一隔板相對設置的第二隔板，所述第二隔板與所述傳感器連接，其中，所述囊狀漂浮件位于所述第一隔板與所述第二隔板所限定的范圍內。

其中，所述囊狀漂浮件為橡膠氣囊。

進一步地，所述檢測裝置還包括一設置于所述傳感器外圍的保護層，所述保護層的材質為聚四氟乙烯。

其中，所述傳感器為電容式傳感器。

其中，所述感應件為金屬片。

其中，所述金屬片活動設置于所述密封腔內。

本申請的有益效果是：區別于現有技術的情況，本申請檢測裝置設置于用于盛放液體的容器中，其中的感應件設置于囊狀漂浮件的密封腔內，在一般情況下，感應件隨囊狀漂浮件處于漂浮狀態，在滿足預設條件時，囊狀漂浮件下移到預設位置，從而使感應件與傳感器感應而發出信號，從而不受容器內液體的透明度等條件的影響，以提高檢測的準確率，及擴大檢測裝置的適用范圍。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。其中：

圖1是本申請檢測裝置一實施方式的結構示意圖；

圖2是本申請檢測裝置一實施方式位于容器內一位置處結構示意圖；

圖3是本申請檢測裝置一實施方式位于容器內另一位置處的結構示意圖；

圖4是本申請檢測裝置另一實施方式的結構示意圖；