[發明專利]一種檢測裝置有效
| 申請號： | 201910551356.7 | 申請日： | 2019-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN110243434B | 公開（公告）日： | 2021-01-01 |
| 發明（設計）人： | 劉偉;張雷 | 申請（專利權）人： | 廈門通富微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01F23/26 | 分類號： | G01F23/26 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 李慶波 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市中國（福建）自由貿易試驗區*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 裝置 | ||
1.一種檢測裝置，所述檢測裝置設置于用于盛放液體的容器中，所述檢測裝置用于檢測液體中晶舟的位置，并包括：
漂浮件，包括一密封腔；
感應件，設置于所述密封腔內；
傳感器，固定于所述容器內的預設位置處，用于在所述漂浮件下移到預設位置時與所述感應件感應而發出信號；
其特征在于，所述漂浮件為囊狀漂浮件；所述檢測裝置還包括第一隔板，在所述第一隔板受到容器內的晶舟的壓力時，壓迫所述囊狀漂浮件向下運動，并與所述傳感器接觸而發出信號。
2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一隔板朝向所述囊狀漂浮件的一側與所述囊狀漂浮件固定連接。
3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括一壓塊，所述壓塊連接設置在所述第一隔板遠離所述囊狀漂浮件的一側，用于承載放入容器內的晶舟，且在承載所述晶舟時，壓迫所述第一隔板進而帶動所述囊狀漂浮件向下運動，并與所述傳感器接觸，所述傳感器與感應件感應而發出信號。
4.根據權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括一與所述第一隔板相對設置的第二隔板，所述第二隔板與所述傳感器連接，其中，所述囊狀漂浮件位于所述第一隔板與所述第二隔板所限定的范圍內。
5.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述囊狀漂浮件為橡膠氣囊。
6.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括一設置于所述傳感器外圍的保護層，所述保護層的材質為聚四氟乙烯。
7.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述傳感器為電容式傳感器。
8.根據權利要求7所述的檢測裝置，其特征在于，所述感應件為金屬片。
9.根據權利要求8所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬片活動設置于所述密封腔內。
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