[發明專利]掩膜框架組件

在審

• 申請號: 201910546872.0
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN110894587A
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 河在秀;李秀奐;徐成昊;柳光泰
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C16/04;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 李盛泉;孫昌浩

1.一種掩膜框架組件，其中，包括：

掩膜框架，具有開口；以及

掩膜條，布置于所述掩膜框架上，并且配備有至少一個沿第一方向延伸的第一掩膜條、至少一個沿與第一方向交叉的第二方向延伸的第二掩膜條、與所述第一掩膜條及所述第二掩膜條的各個端部連接而定義多個沉積區域的多個第三掩膜條，

其中，所述第一掩膜條的厚度與所述第二掩膜條的厚度不同，并且在所述第一掩膜條與所述第二掩膜條相互連接的部分布置有部分蝕刻部。

2.如權利要求1所述的掩膜框架組件，其中，

所述部分蝕刻部布置于安裝所述第二掩膜條的所述第一掩膜條，并且對應于具有比所述第一掩膜條的其他部分的厚度薄的厚度的部分。

3.如權利要求2所述的掩膜框架組件，其中，

所述部分蝕刻部的深度與所述第二掩膜條的厚度相同。

4.如權利要求2所述的掩膜框架組件，其中，

所述部分蝕刻部的間距在第二方向上比所述第一掩膜條的寬度窄。

5.如權利要求2所述的掩膜框架組件，其中，

所述第一掩膜條的厚度比所述第二掩膜條的厚度厚。

6.如權利要求2所述的掩膜框架組件，其中，

所述第二掩膜條的寬度整體上相同。

7.如權利要求2所述的掩膜框架組件，其中，

安裝于所述部分蝕刻部的所述第二掩膜條的端部寬度比所述第二掩膜條的其他部分的寬度寬。

8.如權利要求2所述的掩膜框架組件，其中，

所述第二掩膜條焊接于所述第一掩膜條，

焊接點沿所述第二掩膜條的邊緣布置。

9.如權利要求1所述的掩膜框架組件，其中，

所述第一掩膜條包括：

第一條部；以及

第二條部，布置于所述第一條部上，并層疊于所述第一條部，

其中，所述部分蝕刻部布置于所述第二條部與所述第二掩膜條相互連接的部分。

10.如權利要求9所述的掩膜框架組件，其中，

所述第一條部是連接于所述第二掩膜條的條，

所述第二條部是定義多個沉積區域的條，

所述第一條部的厚度比所述第二條部的厚度厚。

11.如權利要求10所述的掩膜框架組件，其中，

所述部分蝕刻部包括：

第一部分蝕刻部，布置于所述第二條部，并具有比所述第二條部的其他部分的厚度薄的厚度；及

第二部分蝕刻部，布置于所述第二掩膜條，并具有比所述第二掩膜條的其他部分的厚度薄的厚度，

其中，所述第一部分蝕刻部和所述第二部分蝕刻部具有相互對應的形狀，并在與第一方向及第二方向交叉的第三方向上相互結合。

12.如權利要求11所述的掩膜框架組件，其中，

所述第一部分蝕刻部與所述第二部分蝕刻部相互連接的部分的厚度和所述第二條部的其他部分的厚度相同。

13.如權利要求10所述的掩膜框架組件，其中，

所述第二條部的寬度比所述第一條部的寬度寬。

14.如權利要求10所述的掩膜框架組件，其中，

所述第二掩膜條焊接于所述第一條部上，

所述第二條部焊接于所述第二掩膜條上。

15.如權利要求1所述的掩膜框架組件，其中，

所述第一掩膜條的兩端部分別連接于所述第三掩膜條，

所述第二掩膜條的第一端部連接于所述第一掩膜條，

所述第二掩膜條的第二端部連接于所述第三掩膜條。