[發明專利]一種以旋轉陽極靶材的制備方法

在審

• 申請號: 201910543326.1
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN111519146A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 徐信森;陳占洋;張飛;溫春雨;左振皋
• 申請（專利權）人: 山東格美鎢鉬材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/15
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種以旋轉陽極靶材的制備方法，經過了選粉、壓制、添粉、壓制、燒結提純、熱等靜壓、整形、退火、機械加工、檢驗、動態平衡試驗和上機試驗。本發明中，鎢錸?TZM合金具有晶粒細小、組織均勻、雜質元素含量較低、高致密性、高強度等優異性能，且制得的旋轉陽極靶具有產品合格率高、散熱性好、抗熱沖擊性好、使用壽命長等優點，制備方法中通過熱等靜壓工藝對鎢錸?TZM合金，尤其是通過選取合適的熱等靜壓的處理溫度和壓力來對靶材加工，增加鎢錸?TZM合金靶材的連接強度和工件的密度，且TZM具有熔點高、強度大、彈性模量高、線膨脹系數小、蒸氣壓低、導電導熱性好、抗蝕性強以及耐高溫力學性能良好等特點，產品具有很好的實用性。

技術領域

本發明涉及靶材制備技術領域，尤其涉及一種以旋轉陽極靶材的制備方法。

背景技術

中國靶材產業發展也是與日俱增，不斷的擴大自己的規模和生產技術，國內一線生產制造靶材的品牌已經達到國外最頂尖的技術水平靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，當不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。

現有的生產靶盤的工藝在生產過程中主要還存在燒結密度較低、效率低、強度偏低，在高溫使用時，容易產生龜裂，造成靶盤壽命較短等不足之處需要改進。

為此，我們提出一種以旋轉陽極靶材的制備方法解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，如：現有的生產靶盤的工藝在生產過程中主要還存在燒結密度較低、效率低、強度偏低，在高溫使用時，容易產生龜裂，造成靶盤壽命較短等不足之處需要改進。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一種以旋轉陽極靶材的制備方法，包括以下步驟：

步驟一：選粉，選取合適的TZM粉與鎢錸合金粉。

步驟二：壓制，將選好的TZM粉裝入模具，震勻后放至液壓機壓制。

步驟三：添粉，壓制后向模具中添入鎢錸合金粉。

步驟四：壓制，添粉后震勻，放至液壓機壓制。

步驟五：燒結提純，將壓制好的TZM粉與鎢錸合金粉脫模后放入氫氣保護感應燒結爐進行高溫燒結成型。

步驟六：熱等靜壓，將燒結后的靶材封入鈦合金包套內，進行熱等靜壓。

步驟七：整形，熱等靜壓后去除包套，放入整形模具，再放至液壓機壓制。

步驟八：退火，將整形后的靶材放入真空爐進行退火處理。

步驟九：機械加工，將靶材用車床車削外壁、兩端面及中心孔，再經過磨床磨削加工至成品尺寸。

步驟十：檢驗，負責檢驗化學成份、硬度、密度、探傷。

步驟十一：動平衡試驗，將靶材放入動平衡檢測儀，做動平衡檢測。

步驟十二：上機試驗，產品發往客戶，由客戶進行上機試驗。

優選的，所述步驟一中，選取TZM粉含鈦0.5％，鎬0.5％，選取鎢錸合金粉，錸含量10％。

優選的，所述步驟二中，液壓機為1000噸四柱液壓機。

優選的，所述步驟四中，添加鎢錸合金粉后震勻，放入液壓機壓制，液壓機為1000噸四柱液壓機。

優選的，所述步驟五中，燒結溫度為1800℃-2200℃，保溫5小時。燒結后尺寸為：外徑φ144mm，厚度14mm。

優選的，所述步驟八中，將整形后的靶材放入真空爐進行退火處理，退火溫度1200℃，保溫4小時。