[發明專利]一種以旋轉陽極靶材的制備方法

在審

• 申請號: 201910543326.1
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN111519146A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 徐信森;陳占洋;張飛;溫春雨;左振皋
• 申請（專利權）人: 山東格美鎢鉬材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/15
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：選粉，選取合適的TZM粉與鎢錸合金粉。

步驟二：壓制，將選好的TZM粉裝入模具，震勻后放至液壓機壓制。

步驟三：添粉，壓制后向模具中添入鎢錸合金粉。

步驟四：壓制，添粉后震勻，放至液壓機壓制。

步驟五：燒結提純，將壓制好的TZM粉與鎢錸合金粉脫模后放入氫氣保護感應燒結爐進行高溫燒結成型。

步驟六：熱等靜壓，將燒結后的靶材進行熱等靜壓。

步驟七：整形，熱等靜壓后，把靶材加熱后放入整形模具，再放至液壓機壓制形狀。

步驟八：退火，將整形后的靶材放入真空爐進行退火處理。

步驟九：機械加工，將靶材用車床車削外壁、兩端面及中心孔，再經過磨床磨削加工至成品尺寸。

步驟十：檢驗，負責檢驗化學成份、硬度、密度、探傷。

步驟十一：動平衡試驗，將靶材放入動平衡檢測儀，做動平衡檢測。

步驟十二：上機試驗，產品發往客戶，由客戶進行上機試驗。

2.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟一中，選取TZM粉含鈦0.5％，鎬0.5％，選取鎢錸合金粉，錸含量10％。

3.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟二、三、四中，使用模具,在1000噸四柱液壓機上進行模壓。

4.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟五中，使用氫氣氣氛燒結提高純度,燒結溫度為1900℃-2200℃，保溫5小時。燒結后尺寸為：外徑φ144mm，厚度14mm。

5.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟六中,使用熱等靜壓提高密度,使靶材達到理論密度,溫度為1500℃-1800℃,壓強為100-200MPa。

6.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟七中,使用模壓成型,提高材料的利用率,溫度為1200℃-1400℃。

7.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟八中,將整形后的靶材放入真空爐進行退火處理，退火溫度1000℃-1300℃。

8.根據權利要求1所述的一種以旋轉陽極靶材的制備方法，其特征在于，所述最終成品尺寸：外徑φ140mm，內徑φ12.5mm，厚度10mm。