[發明專利]掩膜板、掩膜裝置及其應用方法

在審

• 申請號: 201910540107.8
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN110241384A
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發明（設計）人: 肖世艷
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/34;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

為實現OLED CUP技術，本發明提供一種掩膜板、掩膜裝置及掩膜板的應用方法，掩膜板用于基板成膜，所述基板包括一預設的開孔區，所述掩膜板被一分隔線分為遮光區和開口區兩部分；所述掩膜板包括一遮擋區；當所述掩膜板與所述基板被對位設置時，所述遮擋區在所述基板表面的投影位于所述開孔區內；本發明提供一種掩膜板、掩膜裝置及掩膜板的應用方法，使用兩種不同的掩膜板對同一基板表面先后進行二次沉積處理，使得基板上表面除被遮擋區外的每處位置都被涂覆成膜，且不會產生附膜重疊的現象，可以提高有機材料在通孔周邊區域成膜的均勻性，防止基板表面的同一位置存在多個不同色的子像素，從而可以防止混色或者色偏的現象產生，提高顯示面板的質量。

技術領域

本發明涉及顯示領域，尤其涉及一種掩膜板、掩膜裝置及其應用方法。

背景技術

隨著智慧終端的迅速發展，對于顯示面板的顯示品質、耗能效率以及應用場合的要求越來越高。有機電致發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器因具有色彩鮮艷、對比度高、功耗低、延展性佳等諸多優點，成為了顯示領域的開發重點。隨著OLED顯示器制作工藝的日趨成熟，應用領域也越來越廣。

目前，顯示面板從異形屏發展到如今的全面屏。“全面屏”逐漸成為智慧終端的主流，智慧終端具有顯示面板，顯示面板包括一開孔區，是用來放置前置攝像頭、擴音元件、測光元件、補光元件等需要設置于顯示面板上的元件。

OLED生產制造中，與一般液晶顯示面板最大的不同的是，需要利用真空蒸鍍工藝。蒸鍍過程中會將掩膜板(Mask)與基板精確貼合，然后將蒸鍍材料通過掩膜板真空蒸鍍至基板上，形成有機材料層。蒸鍍材料包括紅(R)、綠(G)、藍(B)三色的有機發光材料，OLED顯示面板即是通過能自發光的有機材料發出紅綠藍三原色，組成不同色彩。

現有技術中，掩膜板包括遮光區與開口區。基板與開口區對應的位置會被沉積有機材料，基板與遮光區對應的位置不被沉積有機材料，進而形成特有的圖案。在蒸鍍的過程中，通過掩膜板對基板進行掩膜處理，并使用蒸鍍源對基板進行蒸鍍處理，掩膜板開口區對應的基板上的子像素被蒸鍍。但采用掩膜板蒸鍍的方法，容易產生陰影效應(shadoweffect)，也就是對第一種子像素蒸鍍時，有機材料可能擴散到第一種子像素規定區域之外，即擴散至第二種子像素區域、或第三種子像素區域而造成混色或者色偏的現象，影響OLED的發光顯示效果。當有機材料被擴散到其他區域時，容易導致某一位置被鍍膜多次，進而導致該位置的膜層偏厚，影響膜層的均勻性。另外，掩膜板還包括至少一分隔線，用以分隔遮光區與開口區，但現有技術中，沒有明確規定分隔線的方向、角度。因此，成膜后，掩膜板分隔線對應基板的位置，容易出現顯示異常的現象。

現有技術中，顯示面板一般采用LCD技術實現屏下攝像頭(Camera Under Panel,CUP)，而尚未有人采用OLED技術實現CUP。

發明內容

本發明提供一種掩膜板、掩膜裝置及其應用方法，以解決現有技術中存在的掩膜板導致有機材料在開孔區周邊區域容易產生混色或者色偏的現象，以及在基板上表面的膜層不均勻的技術問題。

為實現上述目的，本發明提供一種掩膜板，用于基板成膜，所述基板包括一預設的開孔區，所述掩膜板被一分隔線分為遮光區和開口區兩部分；所述掩膜板包括一遮擋區，突出于所述遮光區的一側邊，該側邊在所述分隔線處連接至所述開口區，當所述掩膜板與所述基板被對位設置時，所述遮擋區在所述基板表面的投影位于所述開孔區內。

進一步地，所述遮擋區為半圓形，所述開孔區為圓形，所述遮擋區的半徑與所述開孔區的半徑相同。

進一步地，所述基板包括一基板分隔線，與所述分隔線在所述基板表面的投影部分地重合。

進一步地，所述掩膜板為矩形或圓角矩形；和/或，所述分隔線的兩端分別設于所述掩膜板兩條相鄰的側邊上；所述分隔線與所述掩膜板兩條相鄰側邊分別形成一夾角，所述夾角的角度為40°～50°。