[發明專利]基板拋光設備

在審

• 申請號: 201910536195.4
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110625530A
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 姜勝培;裵俊和;梁熙星;曺雨辰;秋秉權
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/04;B24B37/10;B24B27/00
• 代理公司: 11204 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 王達佐;劉錚

提供了基板拋光設備?；鍜伖庠O備包括臺、按壓單元、旋轉單元、多個拋光墊和噴嘴部分，其中：臺配置成裝載基板，臺具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，且基板裝載在平坦表面上；按壓單元配置成在第三方向上于基板上施加壓力；旋轉單元配置成使按壓單元在平面圖中觀察時圍繞平行于第三方向的中心軸繞轉；多個拋光墊設置在按壓單元與基板之間以與基板接觸；以及噴嘴部分配置成將漿料供應到基板上。拋光墊可以在一個方向上彼此間隔開并且可以在平面圖中具有矩形形狀。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2018年6月22日提交的第10-2018-0071878號韓國專利申請的優先權和權益，如本文中完全闡述的那樣，該韓國專利申請出于所有目的通過引用并入本文。

技術領域

本發明的示例性實施方式大體上涉及基板拋光設備，并且更具體地，涉及用于制造顯示面板的基板拋光設備。

背景技術

通常，顯示裝置包括用于操作像素的多個電子器件。當制造顯示裝置時，在基板上形成電子器件。例如，通過在基底基板上堆疊多個絕緣層和多個導電層來形成電子器件。

堆疊層中的每個可能形成為具有不平坦的頂表面。另外，在形成基底基板的過程中存在外部污染物質或誤差的情況下，基底基板也可能具有不平坦的頂表面。基板拋光設備用于使用漿料來使基底基板的頂表面或每個層的頂表面平坦化。在基底基板的面積大的情況下，控制每個小單位面積的均勻性成為必要。然后，在基底基板的整個表面上均勻地拋光或平坦化成為可能，并且拋光或平坦化的準確度似乎正在提高。

在該背景技術部分中公開的上述信息僅用于理解本發明構思的背景，并且因此，其可能包含不構成現有技術的信息。

發明內容

本發明的示例性實施方式提供了基板拋光設備，該基板拋光設備可用于對基板均勻地進行拋光。

本發明的示例性實施方式還提供了具有改善的拋光效率的基板拋光設備。

本發明構思的另外的特征將在以下描述中闡述，并且部分地將從描述中顯而易見，或者可通過本發明構思的實踐來習得。

本發明的示例性實施方式提供了基板拋光設備，該基板拋光設備包括臺、按壓單元、旋轉單元、多個拋光墊和噴嘴部分，其中：臺配置成裝載基板，臺具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，且基板裝載在平坦表面上；按壓單元配置成在垂直于第一方向和第二方向的第三方向上于基板上施加壓力；旋轉單元連接到按壓單元，旋轉單元配置成使按壓單元在平面圖中觀察時圍繞平行于第三方向的中心軸繞轉；多個拋光墊設置在按壓單元與基板之間并且用于對基板進行拋光；以及噴嘴部分配置成將漿料供應到基板上。拋光墊可以在與基板的移動的方向平行的方向上彼此間隔開。

噴嘴部分可設置在拋光墊之間。

按壓單元可以包括在第一方向上彼此間隔開的多個按壓部分，且拋光墊可以分別聯接到按壓部分。

按壓部分中的全部可在基板上施加相同的壓力。

按壓部分可在基板上施加不同的壓力。

噴嘴部分可包括聯接到旋轉單元的多個噴嘴部分，且按壓部分和多個噴嘴部分可在第一方向上交替地布置。

按壓單元可包括單個按壓部分，且拋光墊可共同聯接到該單個按壓部分。

噴嘴部分可包括多個孔，所述多個孔限定在按壓單元中并且在第二方向上彼此間隔開。

按壓單元還可包括設置在按壓單元與拋光墊之間的膨脹部分。膨脹部分可配置成具有可變的厚度，由此允許拋光墊在基板上施加壓力。

按壓單元可配置成在第三方向上具有可變長度，由此允許拋光墊在基板上施加壓力。