[發明專利]基板拋光設備

在審

• 申請號: 201910536195.4
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110625530A
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 姜勝培;裵俊和;梁熙星;曺雨辰;秋秉權
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/04;B24B37/10;B24B27/00
• 代理公司: 11204 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.基板拋光設備，包括：

臺，具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，并且配置成支承基板；

按壓單元，配置成在垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上在所述基板上施加壓力；

旋轉單元，連接到所述按壓單元，所述旋轉單元配置成使所述按壓單元在平面圖中觀察時圍繞平行于所述第三方向的中心軸繞轉；

多個拋光墊，設置在所述按壓單元和所述基板之間并且用于對所述基板進行拋光；以及

噴嘴部分，配置成將漿料供應到所述基板上，

其中，所述拋光墊在與所述基板的移動的方向平行的方向上彼此間隔開。

2.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中，所述噴嘴部分設置在所述拋光墊之間。

3.如權利要求2所述的基板拋光設備，其中：

所述按壓單元包括在所述第一方向上彼此間隔開的多個按壓部分；以及

所述多個拋光墊分別聯接到所述多個按壓部分。

4.如權利要求3所述的基板拋光設備，其中，所述按壓部分全部配置成在所述基板上施加相同的壓力。

5.如權利要求3所述的基板拋光設備，其中，所述按壓部分配置成在所述基板上施加不同的壓力。

6.如權利要求3所述的基板拋光設備，其中：

所述噴嘴部分包括聯接到所述旋轉單元的多個噴嘴部分；以及

所述多個按壓部分和所述多個噴嘴部分在所述第一方向上交替地布置。

7.如權利要求2所述的基板拋光設備，其中：

所述按壓單元包括單個按壓部分；以及

所述拋光墊聯接到所述單個按壓部分。

8.如權利要求7所述的基板拋光設備，其中，所述噴嘴部分包括多個孔，所述多個孔限定在所述按壓單元中并且在所述第二方向上彼此間隔開。

9.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中：

所述按壓單元還包括設置在所述按壓單元與所述拋光墊之間的膨脹部分；以及

所述膨脹部分配置成具有能夠改變的厚度，由此允許所述拋光墊在所述基板上施加壓力。

10.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中，所述按壓單元配置成在所述第三方向上具有能夠改變的長度，由此允許所述拋光墊在所述基板上施加壓力。

11.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中，所述拋光墊中的每個在所述第一方向上的寬度小于100/n mm，其中，n是所述拋光墊的數量。

12.如權利要求11所述的基板拋光設備，其中，所述拋光墊中的每個在所述第一方向上的所述寬度小于25mm。

13.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中，當在所述第二方向上測量時，所述拋光墊中的每個的長度大于所述基板的長度。

14.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中，所述基板包括玻璃基板。

15.如權利要求1所述的基板拋光設備，其中，所述臺配置成使所述基板在所述第一方向上移動。