[發明專利]一種應用于濺鍍設備中的夾持裝置和濺鍍設備

有效

• 申請號: 201910534657.9
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110172667B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 譚偉;李金川
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/35
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，包括：

夾具，包括相對設置的第一夾板和第二夾板，用于將基板和掩膜版對應夾緊，且使所述基板和所述掩膜版位于所述第一夾板和所述第二夾板之間；

驅動裝置，與所述夾具連接，用于驅動所述夾具的所述第一夾板和所述第二夾板夾緊或松開；

所述夾具上設有與所述掩膜版的開口的形狀和大小相匹配的開口，以在所述夾具夾緊所述掩膜版和基板后，所述夾具靠近所述掩膜版的一側在所述基板上的正投影完全覆蓋所述掩膜版在所述基板上的正投影，且所述夾具的開口與所述掩膜版的開口對位連通，裸露出所述基板的濺鍍區域，以供濺鍍設備對所述基板的濺鍍區域進行濺鍍。

2.如權利要求1所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述夾具的開口設置在所述第一夾板上，所述第二夾板與所述驅動裝置連接；在所述夾具夾緊所述掩膜版和所述基板后，所述第一夾板在所述基板上的正投影完全覆蓋所述掩膜版在所述基板上的正投影。

3.如權利要求2所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述第一夾板遠離所述第二夾板的一側為粗糙面。

4.如權利要求2所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述第一夾板包括第一夾持部和第一驅動部，所述第一驅動部分別與所述第一夾持部和所述第二夾板連接；所述夾具的開口設置在所述第一夾持部上；

在所述夾具夾緊所述掩膜版和所述基板后，所述第一夾持部在所述基板上的正投影完全覆蓋所述掩膜版在所述基板上的正投影，或者所述第一夾持部和所述第一驅動部在所述基板上的正投影完全覆蓋所述掩膜版在所述基板上的正投影。

5.如權利 要求4所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述第一驅動部包括對稱設置在第一夾持部兩側的兩個子驅動部，每個子驅動部包括連接部和第一臂，所述第一臂的兩端分別與所述第二夾板以及對應的連接部連接，所述連接部遠離所述第一臂的一端與所述第一夾持部連接，所述第一臂與所述第一夾持部垂直設置。

6.如權利要求5所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述第二夾板包括兩個子夾板，所述兩個子夾板對稱設置在所述第二夾板的同一側；每個子夾板包括第二夾持部以及與所述第二夾持部連接的第二臂，所述第二夾持部對應所述第一夾持部設置，所述第二臂對應所述第一驅動部設置；所述第二臂遠離所述第二夾持部的一端與所述驅動裝置和所述第一臂連接；

所述驅動裝置控制所述第二夾持部向靠近或遠離所述第一夾持部的方向移動時，所述第一夾持部對應的向靠近或遠離所述第二夾持部的方向移動。

7.如權利要求6所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，在所述夾具夾緊所述掩膜版和所述基板后，所述第一夾持部靠近所述第二夾板的一側與所述掩膜版緊密貼合，所述第二夾持部靠近所述第一夾板的一側與所述基板緊密貼合。

8.如權利要求2所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述夾具還包括聯動裝置，所述第一夾板通過所述聯動裝置與所述第二夾板連接；當所述驅動裝置驅動所述第二夾板向靠近所述第一夾板的方向移動時，所述第二夾板通過所述聯動裝置帶動所述第一夾板向靠近所述第二夾板的方向移動，使所述第一夾板和第二夾板夾緊；

當所述驅動裝置驅動所述第二夾板向遠離所述第一夾板的方向移動時，所述第二夾板通過所述聯動裝置帶動所述第一夾板向遠離所述第二夾板的方向移動，使所述第一夾板和第二夾板松開。

9.如權利要求2所述的應用于濺鍍設備中的夾持裝置，其特征在于，所述夾持裝置還包括底座，所述第一夾板和第二夾板分別位于所述底座的兩側，且分別與所述底座連接，所述底座對應所述第一夾板的開口設有開口部，所述開口部的長度和寬度大于所述基板和掩膜版的長度和寬度。

10.一種濺鍍設備，其特征在于，包括濺鍍裝置和如權利要求1至9任一項所述的夾持裝置；

所述濺鍍裝置位于所述夾持裝置中夾具的開口的一側，用于對基板的濺鍍區域進行濺鍍。