[發(fā)明專利]一種激光直接成像設(shè)備對準相機位置關(guān)系誤差的測量方法

有效

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• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110275399B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 尤勇;嚴孝年
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 奚華保

本發(fā)明公開了一種激光直接成像設(shè)備對準相機位置關(guān)系誤差的測量方法，包括建立激光直接成像設(shè)備基礎(chǔ)臺面的直角坐標系；在基礎(chǔ)臺面上放置尺寸標定板，該尺寸標定板布置有至少三個MARK點，其中有三個MARK點構(gòu)成的直角三角形；利用左對準相機和右對準相機測量構(gòu)成直角三角形的MARK點的中心坐標；以左對準相機或右對準相機為基準相機，利用所測MARK點的中心坐標計算兩對準相機的位置關(guān)系誤差。本發(fā)明解決了兩相機距離較遠無法標定位置關(guān)系的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及印刷電路板圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種激光直接成像設(shè)備對準相機位置關(guān)系誤差的測量方法。

背景技術(shù)

對于印刷電路板加工領(lǐng)域，尤其是高精度HDI板和封裝基板的制造，圖像轉(zhuǎn)移設(shè)備無疑是其中最核心的部分。目前印刷電路板(PCB)圖像轉(zhuǎn)移設(shè)備有兩大類：傳統(tǒng)的投影式曝光設(shè)備和激光直接成像設(shè)備(LDI)。傳統(tǒng)的投影式曝光設(shè)備圖形已經(jīng)印制在菲林底片上，通過紫外線照射菲林底片將圖形轉(zhuǎn)移到表面覆有感光干膜的PCB上，干膜曝光完成后經(jīng)過化學(xué)溶液將未曝光部分的干膜溶解掉，剩下的干膜就是所要制作的圖形。而在激光直接成像設(shè)備中，激光束將曝光圖形通過空間光調(diào)制器直接掃描成像在感光干膜上，掃描成像的圖形需要準確定位在電路板上，這就需要使用到多個對準相機，并且多個對準相機之間的位置關(guān)系需要在系統(tǒng)中準確標定，由于對準相機機械安裝會有精度誤差，這就必須進行位置標定，準確測量相機的位置誤差。

目前，測量對準相機位置關(guān)系誤差的方法必須是多個相機能夠測量同一個MARK，這樣就限制了相機的安裝距離，距離大無法測量同一MARK，則無法標定。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于解決上述背景技術(shù)部分存在的問題，以實現(xiàn)兩相機遠距離的位置關(guān)系標定。

為實現(xiàn)以上目的，一方面，本發(fā)明采用一種激光直接成像設(shè)備對準相機位置關(guān)系誤差的測量方法，包括如下步驟：

建立激光直接成像設(shè)備基礎(chǔ)臺面的直角坐標系；

在所述基礎(chǔ)臺面上放置尺寸標定板，該尺寸標定板布置有至少三個MARK點，其中有三個MARK點構(gòu)成的直角三角形；

利用左對準相機和右對準相機測量構(gòu)成直角三角形的MARK點的中心坐標；

以左對準相機或右對準相機為基準相機，利用所測MARK點的中心坐標計算兩對準相機的位置關(guān)系誤差。

另一方面，采用一種激光直接成像設(shè)備對準相機位置關(guān)系誤差的測量系統(tǒng)，包括激光直接成像設(shè)備、左對準相機、右對準相機和計算設(shè)備，左對準相機和右對準相機的輸出端分別與計算設(shè)備連接；所述激光直接成像設(shè)備的基礎(chǔ)臺面上布置有尺寸標定板，該尺寸標定板布置有至少三個MARK點，其中有三個MARK點構(gòu)成的直角三角形；

所述左對準相機和所述右對準相機用于測量構(gòu)成直角三角形的MARK點的中心坐標；

計算設(shè)備用于以左對準相機或右對準相機為基準相機，利用所測MARK點的中心坐標計算兩對準相機的位置關(guān)系誤差。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明存在以下技術(shù)效果：激光直接成像設(shè)備圖像轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品的位置必須準確，就需要多個對準相機，并且相機之間的安裝位置存在機械誤差，這就必須精確標定各個對準相機之間的位置關(guān)系。本方案通過在標定板上設(shè)置構(gòu)成直角三角形的3個MARK點，利用左對準相機測量標定左上角和左下角布置的MARK點的中心坐標，利用右對準相機測量標定板右上角MARK點的中心坐標，以左對準相機為基準相機，利用幾何位置關(guān)系計算出右對準相機與左對準相機的位置關(guān)系誤差。本方案在計算左、右對準相機的位置關(guān)系誤差時，無需考慮兩相機的距離，即使距離圓也可標定兩相機的位置關(guān)系。

附圖說明

下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的具體實施方式進行詳細描述：

圖1是一種激光直接成像設(shè)備對準相機位置關(guān)系誤差的測量方法的流程示意圖；