[發(fā)明專利]一種激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910534115.1
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號(hào): CN110275399B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尤勇;嚴(yán)孝年
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 奚華保

1.一種激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法，其特征在于，包括：

建立激光直接成像設(shè)備基礎(chǔ)臺(tái)面的直角坐標(biāo)系；

在所述基礎(chǔ)臺(tái)面上放置尺寸標(biāo)定板，該尺寸標(biāo)定板布置有至少三個(gè)MARK點(diǎn)，其中有三個(gè)MARK點(diǎn)構(gòu)成的直角三角形；

利用左對準(zhǔn)相機(jī)和右對準(zhǔn)相機(jī)測量構(gòu)成直角三角形的MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)；

以左對準(zhǔn)相機(jī)或右對準(zhǔn)相機(jī)為基準(zhǔn)相機(jī)，利用所測MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)計(jì)算兩對準(zhǔn)相機(jī)的位置關(guān)系誤差；

其中，所述構(gòu)成直角三角形的三個(gè)MARK點(diǎn)包括設(shè)置在所述尺寸標(biāo)定板左下角的第一MARK點(diǎn)、設(shè)置所述尺寸標(biāo)定板左上角的第二MARK點(diǎn)以及設(shè)置在所述尺寸標(biāo)定板右上角的第三MARK點(diǎn)，或者包括設(shè)置在所述尺寸標(biāo)定板左上角的第二MARK點(diǎn)、設(shè)置在所述尺寸標(biāo)定板右上角的第三MARK點(diǎn)和設(shè)置所述尺寸標(biāo)定板右下角的第四MARK點(diǎn)；

利用所述左對準(zhǔn)相機(jī)分別測量所述第一MARK點(diǎn)和第二MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)，以及利用右對準(zhǔn)相機(jī)測量所述第三MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)；或者利用所述右對準(zhǔn)相機(jī)測量所述第三MARK點(diǎn)和第四MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)，以及利用所述左對準(zhǔn)相機(jī)測量第二MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)。

2.如權(quán)利要求1所述的激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法，其特征在于，所述以左對準(zhǔn)相機(jī)為基準(zhǔn)相機(jī)，利用所測MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)計(jì)算兩對準(zhǔn)相機(jī)的位置關(guān)系誤差，包括：

根據(jù)第一MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)和第二MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)，計(jì)算所述尺寸標(biāo)定板的放板角度；

利用所述尺寸標(biāo)定板的放板角度、所述第二MARK點(diǎn)的中心到第三MARK點(diǎn)的理論距離以及所述第二MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)，計(jì)算所述第三MARK點(diǎn)的理論中心坐標(biāo)；

根據(jù)所述第三MARK點(diǎn)的理論中心坐標(biāo)和所述第三MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)，計(jì)算所述右對準(zhǔn)相機(jī)的測量誤差值；

根據(jù)所述右對準(zhǔn)相機(jī)相對于左對準(zhǔn)相機(jī)的初始位置坐標(biāo)以及所述右對準(zhǔn)相機(jī)的測量誤差值，計(jì)算所述右對準(zhǔn)相機(jī)相對于所述左對準(zhǔn)相機(jī)的位置關(guān)系誤差。

3.如權(quán)利要求2所述的激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法，其特征在于，所述第一MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)為(X0,Y0)、第二MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)為(X1,Y1)和第三MARK點(diǎn)的中心坐標(biāo)為(X2,Y2)；所述尺寸標(biāo)定板的放板角度θ：θ＝arctan[(X0-X1)/(Y1-Y0)]。

4.如權(quán)利要求3所述的激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法，其特征在于，所述第三MARK點(diǎn)的理論中心坐標(biāo)(X2′,Y2′)的計(jì)算公式為：

X2′＝X1+acosθ，

Y2′＝Y(jié)1+asinθ，

其中，a為所述第二MARK點(diǎn)的中心和第三MARK點(diǎn)的理論距離。

5.如權(quán)利要求3所述的激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法，其特征在于，所述右對準(zhǔn)相機(jī)的測量誤差值為(X2-X2′，Y2-Y2′)。

6.如權(quán)利要求3所述的激光直接成像設(shè)備對準(zhǔn)相機(jī)位置關(guān)系誤差的測量方法，其特征在于，所述右對準(zhǔn)相機(jī)與所述左對準(zhǔn)相機(jī)的位置關(guān)系誤差為(M-X2+X2′,N-Y2+Y2′)，其中，(M,N)為所述右對準(zhǔn)相機(jī)的處置位置坐標(biāo)。