[發(fā)明專利]抗干擾高靈敏度紫外光探測器

有效

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• 申請日: 2019-06-19
• 公開（公告）號: CN112201704B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發(fā)明（設計）人: 呂惠賓;郭爾佳;何萌;金奎娟;楊國楨
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/024;H01L31/18;G01J1/42
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

本發(fā)明提供一種紫外光探測器，包括：吸收體，所述吸收體的禁帶寬度大于3.2eV；設置在所述吸收體的一個表面的第一電極，所述第一電極采用能夠透過紫外光的導電材料，并且所述第一電極覆蓋所述吸收體的所述一個表面；設置在所述吸收體的另一個表面的第二電極和第三電極；以及電源，所述電源的正極和負極分別連接至所述第二電極和所述第一電極。本發(fā)明的紫外光探測器靈敏度高、抗干擾能力強。

技術領域

本發(fā)明涉及一種光電探測器，特別涉及一種抗干擾高靈敏度紫外光探測器。

背景技術

紫外光探測器不受可見和紅外光的干擾，能在可見光和紅外光的環(huán)境條件下對紫外光信號進行探測,具有其獨特的優(yōu)點，在科研、空間探測和軍事等領域具有非常廣泛和重要的應用。但到目前為止，紫外光探測器的靈敏度等各項指標與可見光和紅外光的探測器還相差甚遠。本申請人已申請了幾種可見盲和日盲的紫外光探測器，如專利文獻CN106997907B、CN106997909B和CN109473488A等。盡管這些紫外光探測器具有很高的靈敏度，但由于吸收體和電極都是暴露在外面，對實際應用來說存在抗干擾能力差和易被污染等缺點。

發(fā)明內容

因此，本發(fā)明的目的在于克服上述現有技術的缺陷，提供一種紫外光探測器，包括：

吸收體，所述吸收體的禁帶寬度大于3.2eV；

設置在所述吸收體的一個表面的第一電極，所述第一電極采用能夠透過紫外光的導電材料，并且所述第一電極覆蓋所述吸收體的所述一個表面；

設置在所述吸收體的另一個表面的第二電極和第三電極；以及

電源，所述電源的正極和負極分別連接至所述第二電極和所述第一電極。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，還包括金屬外殼，所述金屬外殼具有用于暴露所述第一電極的開口，所述金屬外殼與所述第一電極固定電連接，所述電源的負極與所述金屬外殼電連接。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，還包括同軸接頭，所述同軸接頭的外導體連接至所述金屬外殼，所述同軸接頭的內導線連接至所述第三電極。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，還包括散熱塊，其設置在所述第二電極和所述第三電極的外表面。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，所述吸收體的材料為鈦酸鍶、鈦酸鋇、鋁酸鑭、氧化鋅、氧化鎂、氧化鋯、鈮酸鑭、鈮酸鋰、三氧化二鋁、氧化鋅、鉭酸鉀、鉭酸鋰或鈦酸鑭。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，所述第一電極的材料為石墨烯、銦錫氧化物、釕酸鍶或氮化鈦。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，所述第二電極為圓環(huán)形或方環(huán)形電極，所述第三電極為圓形或方電極，所述第三電極設置在所述第二電極的內側。

根據本發(fā)明的紫外光探測器，優(yōu)選地，所述第二電極和所述第三電極構成圓形叉指電極或方形叉指電極。

本發(fā)明還提供了一種紫外光探測器的制備方法，包括如下步驟：

步驟一：制備禁帶寬度大于3.2eV的吸收體；

步驟二：在所述吸收體的一個表面生長能夠透過紫外光的導電材料以形成第一電極，所述第一電極覆蓋所述吸收體的所述一個表面；

步驟三：在所述吸收體的另一個表面生長導電材料以形成第二電極和第三電極；以及

步驟四：將電源的正極和負極分別連接至所述第二電極和所述第一電極；

根據本發(fā)明的紫外光探測器的制備方法，優(yōu)選地，還包括：

步驟五：從所述第三電極和所述電源的負極分別引出輸出引線。。