[發明專利]抗干擾高靈敏度紫外光探測器

有效

• 申請號: 201910529519.1
• 申請日: 2019-06-19
• 公開（公告）號: CN112201704B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 呂惠賓;郭爾佳;何萌;金奎娟;楊國楨
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/024;H01L31/18;G01J1/42
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

1.一種紫外光探測器，包括：

吸收體，所述吸收體的禁帶寬度大于3.2eV；

設置在所述吸收體的一個表面的第一電極，所述第一電極采用能夠透過紫外光的導電材料，并且所述第一電極覆蓋所述吸收體的所述一個表面；

設置在所述吸收體的另一個表面的第二電極和第三電極；以及

電源，所述電源的正極和負極分別連接至所述第二電極和所述第一電極，

還包括：

金屬外殼，所述金屬外殼具有用于暴露所述第一電極的開口，所述金屬外殼與所述第一電極固定電連接，所述電源的負極與所述金屬外殼電連接，以及

同軸接頭，所述同軸接頭的外導體連接至所述金屬外殼，所述同軸接頭的內導線連接至所述第三電極。

2.根據權利要求1所述的紫外光探測器，還包括散熱塊，其設置在所述第二電極和所述第三電極的外表面。

3.根據權利要求1或2所述的紫外光探測器，其中，所述吸收體的材料為鈦酸鍶、鈦酸鋇、鋁酸鑭、氧化鋅、氧化鎂、氧化鋯、鈮酸鑭、鈮酸鋰、三氧化二鋁、鉭酸鉀、鉭酸鋰或鈦酸鑭。

4.根據權利要求1或2所述的紫外光探測器，其中，所述第一電極的材料為石墨烯、銦錫氧化物、釕酸鍶或氮化鈦。

5.根據權利要求1或2所述的紫外光探測器，其中，所述第二電極為圓環形或方環形電極，所述第三電極為圓形或方形電極，所述第三電極設置在所述第二電極的內側。

6.根據權利要求1或2所述的紫外光探測器，其中，所述第二電極和所述第三電極構成圓形叉指電極或方形叉指電極。

7.一種紫外光探測器的制備方法，包括如下步驟：

步驟一：制備禁帶寬度大于3.2eV的吸收體；

步驟二：在所述吸收體的一個表面生長能夠透過紫外光的導電材料以形成第一電極，所述第一電極覆蓋所述吸收體的所述一個表面；

步驟三：在所述吸收體的另一個表面生長導電材料以形成第二電極和第三電極；

步驟四：將電源的正極和負極分別連接至所述第二電極和所述第一電極；

還包括：

設置金屬外殼，所述金屬外殼具有用于暴露所述第一電極的開口，所述金屬外殼與所述第一電極固定電連接，所述電源的負極與所述金屬外殼電連接；和

設置同軸接頭，所述同軸接頭的外導體連接至所述金屬外殼，所述同軸接頭的內導線連接至所述第三電極。

8.根據權利要求7所述的紫外光探測器的制備方法，還包括：

步驟五：從所述第三電極和所述電源的負極分別引出輸出引線。