[發(fā)明專利]被加工物的加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910519907.1
• 申請(qǐng)日: 2019-06-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110634736B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 成田義智
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 沈娥;龐東成

1.一種被加工物的加工方法，該被加工物具有在由呈格子狀形成的多條分割預(yù)定線劃分的區(qū)域中形成有器件的正面，該被加工物的加工方法的特征在于，具有如下的步驟：

保持步驟，利用保持工作臺(tái)對(duì)該被加工物的背面進(jìn)行保持而使該被加工物的該正面露出；

外周緣去除步驟，在實(shí)施了該保持步驟之后，使切削刀具切入至該被加工物的該正面的外周緣，使該保持工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)并且使該切削刀具在該被加工物的半徑方向上擺動(dòng)，從而一邊使切削寬度變化一邊對(duì)該被加工物的該外周緣進(jìn)行切削；

正面保護(hù)步驟，在實(shí)施了該外周緣去除步驟之后，利用正面保護(hù)部件來(lái)覆蓋該被加工物的該正面的形成有該器件的區(qū)域；以及

磨削步驟，在實(shí)施了該正面保護(hù)步驟之后，利用磨削磨具對(duì)該被加工物的該背面進(jìn)行磨削而將該被加工物薄化至規(guī)定的厚度，

在該外周緣去除步驟中，一邊使切削寬度變化一邊對(duì)該被加工物的該正面的該外周緣進(jìn)行切削，將該外周緣去除以使該被加工物的該正面具有與該被加工物的結(jié)晶方位對(duì)應(yīng)的橢圓形狀，從而能夠通過(guò)橢圓形狀來(lái)識(shí)別該被加工物的結(jié)晶方位。