[發(fā)明專利]無粘性蝕刻干燥方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910517828.7 | 申請日： | 2019-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN110292792A | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王環(huán)環(huán);呂麗英;吳偉昌;黎家健 | 申請（專利權(quán)）人： | 瑞聲科技（新加坡）有限公司 |
| 主分類號： | B01D12/00 | 分類號： | B01D12/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 趙勝寶 |
| 地址： | 新加坡卡文迪*** | 國省代碼： | 新加坡;SG |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 振動(dòng)空間 蝕刻 微機(jī)械結(jié)構(gòu) 振膜 水溶性液體 液態(tài)干燥劑 犧牲材料 清洗液 蝕刻液 背板 背腔 去除 濕式蝕刻法 間隔設(shè)置 蝕刻處理 粘連 氣化 氣隙 加熱 連通 替換 殘留 | ||
本發(fā)明提供了一種無粘性蝕刻干燥方法，包括以下步驟：步驟S10：提供微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其包括具有背腔的基座、形成在基座一側(cè)的振膜、與振膜間隔設(shè)置的背板以及形成在振膜及背板之間的犧牲材料；步驟S20：采用蝕刻液對犧牲材料進(jìn)行蝕刻處理形成與背腔連通的振動(dòng)空間；步驟S30：采用清洗液去除振動(dòng)空間內(nèi)殘留的蝕刻液；步驟S40：在振動(dòng)空間內(nèi)通入水溶性液體去除振動(dòng)空間內(nèi)的清洗液；步驟S50：采用液態(tài)干燥劑完全替換振動(dòng)空間內(nèi)的水溶性液體；步驟S60：對微機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行加熱，使振動(dòng)空間內(nèi)的液態(tài)干燥劑氣化。本發(fā)明的無粘性蝕刻干燥方法能夠針對性地解決采用濕式蝕刻法得到的微機(jī)械結(jié)構(gòu)的氣隙所存在工藝粘連的問題。
【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及微機(jī)械結(jié)構(gòu)加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種無粘性蝕刻干燥方法。
【背景技術(shù)】
在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件中，為了獲得氣隙，通常采用濕蝕刻法去除犧牲材料。然而，由于水溶液的表面張力能很大，在懸浮件和基板之間往往會(huì)形成液橋，從而導(dǎo)致工藝粘連和設(shè)備故障。傳統(tǒng)的干燥方法，比如SRD干燥和IPA干燥，可以較好地適用于簡單的結(jié)構(gòu)或單層裝置，而對于復(fù)雜的MEMS結(jié)構(gòu)，它們具有局限性：(1)MEMS結(jié)構(gòu)可能部分干燥；(2)MEMS結(jié)構(gòu)干燥后仍有工藝粘連。
因此，有必要提供一種新的干燥方法針對性地解決采用濕式蝕刻法得到的微機(jī)械結(jié)構(gòu)的氣隙所存在工藝粘連的問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
本發(fā)明的目的在于提供一種無粘性蝕刻干燥方法，能夠針對性地解決采用濕式蝕刻法得到的微機(jī)械結(jié)構(gòu)的氣隙所存在工藝粘連的問題。
本發(fā)明的技術(shù)方案如下：
一種無粘性蝕刻干燥方法，包括以下步驟：
步驟S10：提供微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其包括具有背腔的基座、形成在基座一側(cè)的振膜、與振膜間隔設(shè)置的背板以及形成在振膜及背板之間的犧牲材料；
步驟S20：采用蝕刻液對犧牲材料進(jìn)行蝕刻處理形成與背腔連通的振動(dòng)空間；
步驟S30：采用清洗液去除振動(dòng)空間內(nèi)殘留的蝕刻液；
步驟S40：在振動(dòng)空間內(nèi)通入水溶性液體去除振動(dòng)空間內(nèi)的清洗液；
步驟S50：采用液態(tài)干燥劑完全替換振動(dòng)空間內(nèi)的水溶性液體；
步驟S60：對微機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行加熱，使振動(dòng)空間內(nèi)的液態(tài)干燥劑氣化以防止振膜與背板粘連。
進(jìn)一步地，振膜或背板固定于基座，振膜或背板上具有使得振動(dòng)空間和背腔連通的通孔。
進(jìn)一步地，清洗液為去離子水。
進(jìn)一步地，水溶性液體為異丙醇、甲醇、乙醇、丙醇或丁醇中的一種。
進(jìn)一步地，在步驟S40中采用的液態(tài)干燥劑為液體二氧化碳。
本發(fā)明的有益效果在于：
在本發(fā)明的實(shí)施方法中，水溶性液體和液態(tài)干燥劑均為可控制液相變氣相，屬于分子水平的“干燥進(jìn)干燥出”方法，在解決了濕式蝕刻導(dǎo)致的工藝粘連問題的同時(shí)使得針對濕式蝕刻的干燥效率更高。
【附圖說明】
圖1為本發(fā)明的無粘性蝕刻干燥方法的實(shí)施例的流程圖；
圖2為本發(fā)明的無粘性蝕刻干燥方法在一種具體的微機(jī)械結(jié)構(gòu)中應(yīng)用的過程圖示。
【具體實(shí)施方式】
下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種無粘性蝕刻干燥方法。在本實(shí)施例中，該無粘性蝕刻干燥方法包括以下步驟：
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