[發明專利]一種基于VBA語言的電性數據處理方法及存儲介質

有效

• 申請號: 201910516600.6
• 申請日: 2019-06-14
• 公開（公告）號: CN110389295B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發明（設計）人: 陳智廣;吳淑芳;詹智梅;黃光偉;李立中;林偉銘
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 施文武;徐劍兵

1.一種基于VBA語言的電性數據處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

通過界面獲取產品信息，所述產品信息包括數據路徑，所述產品為晶圓；

根據產品信息中的數據路徑載入產品的電性數據；

判斷載入的電性數據是否需要判斷異常數據；

若是，則進行數據異常判斷，判斷電性數據中的異常數據，并標出異常數據，將電性數據中的異常數據剔除后，進行計算得到電性數據的計算信息；

若否，則直接對電性數據進行計算得到電性數據的計算信息；

輸出計算得到的電性數據的計算信息及根據電性數據繪制的圖形，若電性數據中含有異常數據，則在繪制的圖形中與產品位置對應的位置標出異常數據，所述計算信息包括最大值、最小值、均值、標準差及良率。

2.根據權利要求1所述基于VBA語言的電性數據處理方法，其特征在于，所述產品信息包括產品項目名稱，所述“判斷電性數據中的異常數據”具體包括以下步驟：

根據產品項目名稱，將對應產品項目名稱的電性數據逐一與規格信息進行比對，當電性數據超出規格信息的范圍，則該電性數據為異常數據，所述規格信息包括上限值、下限值、項目單位及目標值。

3.根據權利要求1所述基于VBA語言的電性數據處理方法，其特征在于，所述“判斷電性數據中的異常數據”具體包括以下步驟：

計算出電性數據中的最大值、最小值、平均值及標準差；

求出最大值與平均值的差值的絕對值及最小值與平均值的差值的絕對值確定離群標記值；

通過將離群標記值與平均值的差值的絕對值減去標準差，則得到離群標記值的殘差值；

將得到的殘差值與待查表中查表值進行比對，若殘差值大于查表值，則該離群標記值為離群值；

將該離群值從電性數據中剔除，重新計算剔除該離群值后的電性數據中的離群值，直至計算得到電性數據中所有的離群值，所述離群值為異常數據。

4.根據權利要求3所述基于VBA語言的電性數據處理方法，其特征在于，所述產品信息包括置信度；

所述“將得到的殘差值與待查表中查表值進行比對”具體包括：

將得到的殘差值與置信度對應的待查表中的查表值進行比對。

5.根據權利要求4所述基于VBA語言的電性數據處理方法，其特征在于，所述“直至計算得到電性數據中所有的離群值”之后還包括以下步驟：

將計算得到的所有離群值從電性數據中剔除得到初步結果；

判斷初步結果中最大值除以最小值的值是否在預設范圍內；

若不在預設范圍內，則將初步結果的最大值及最小值中與初步結果的平均值的絕對差值大的數據標記為離群值；

然后將離群值從初步結果中剔除，再次判斷剔除離群值的初步結果中最大值除以最小值的值是否在預設范圍內，直至初步結果中的所有數據都在預設范圍內。

6.一種存儲介質，所述存儲介質內存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器運行時執行以下步驟：

通過界面獲取產品信息，所述產品信息包括數據路徑，所述產品為晶圓；

根據產品信息中的數據路徑載入產品的電性數據；

判斷載入的電性數據是否需要判斷異常數據；

若是，則進行數據異常判斷，判斷電性數據中的異常數據，并標出異常數據，將電性數據中的異常數據剔除后，進行計算得到電性數據的計算信息；

若否，則直接對電性數據進行計算得到電性數據的計算信息；

輸出計算得到的電性數據的計算信息及根據電性數據繪制的圖形，若電性數據中含有異常數據，則在繪制的圖形中與產品位置對應的位置標出異常數據，所述計算信息包括最大值、最小值、均值、標準差及良率。

7.根據權利要求6所述存儲介質，其特征在于，所述產品信息包括產品項目名稱，所述處理器執行步驟“判斷電性數據中的異常數據”時具體執行以下步驟：

根據產品項目名稱，將對應產品項目名稱的電性數據逐一與規格信息進行比對，當電性數據超出規格信息的范圍，則該電性數據為異常數據，所述規格信息包括上限值、下限值、項目單位及目標值。