[發明專利]一種基于VBA語言的電性數據處理方法及存儲介質

有效

• 申請號: 201910516600.6
• 申請日: 2019-06-14
• 公開（公告）號: CN110389295B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發明（設計）人: 陳智廣;吳淑芳;詹智梅;黃光偉;李立中;林偉銘
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 施文武;徐劍兵

本發明涉及一種基于VBA語言的電性數據處理方法及存儲介質，所述方法包括以下步驟：通過界面獲取產品信息；根據產品信息中的數據路徑載入產品的電性數據；判斷載入的電性數據是否需要判斷異常數據；若是，則進行數據異常判斷，判斷電性數據中的異常數據，并標出異常數據，將電性數據中的異常數據剔除后，進行計算得到電性數據的計算信息；若否，則直接對電性數據進行計算得到電性數據的計算信息；輸出計算得到的電性數據的計算信息及根據電性數據繪制的圖形，若電性數據中含有異常數據，則在繪制的圖形中對應的位置標出異常數據。實現對電性數據中的異常數據的整理，同時節省人員數據處理的時間，實現直觀地體現電性數據在產品位置上分布的關系。

技術領域

本發明涉及電性數據分析技術領域，特別涉及一種基于VBA語言的電性數據處理方法及存儲介質。

背景技術

當晶圓在完成所有制程工藝之后，需要對晶圓上各個測試結構進行電性測試獲得電性數據，然后根據獲得電性數據進行整理得到晶圓的數據報表，通常包含有晶圓各個項目的最大值、最小值、均值、標準差及良率等基本信息，而現有對于電性數據的整理主要是從工廠端制程數據統計系統中直接導出數據報表，而現有的制程數據統計系統無法提供異常數據判斷的功能，及在數據處理過程中無法根據用戶需求靈活更改規格值，同時無法直觀體現制程特性數據在位置上的分布關系。

發明內容

為此，需要提供一種基于VBA語言的電性數據處理方法及存儲介質，解決現有制程數據統計系統無法提供數據判斷的功能。

為實現上述目的，發明人提供了一種基于VBA語言的電性數據處理方法，包括以下步驟：

通過界面獲取產品信息，所述產品信息包括數據路徑；

根據產品信息中的數據路徑載入產品的電性數據；

判斷載入的電性數據是否需要判斷異常數據；

若是，則進行數據異常判斷，判斷電性數據中的異常數據，并標出異常數據，將電性數據中的異常數據剔除后，進行計算得到電性數據的計算信息；

若否，則直接對電性數據進行計算得到電性數據的計算信息；

輸出計算得到的電性數據的計算信息及根據電性數據繪制的圖形，若電性數據中含有異常數據，則在繪制的圖形中對應的位置標出異常數據，所述計算信息包括最大值、最小值、均值、標準差及良率。

進一步優化，所述產品信息包括產品項目名稱，所述“判斷電性數據中的異常數據”具體包括以下步驟：

根據產品項目名稱，將對應產品項目名稱的電性數據逐一與規格信息進行比對，當電性數據超出規格信息的范圍，則該電性數據為異常數據，所述規格信息包括上限值、下限值、項目單位及目標值。

進一步優化，所述“判斷電性數據中的異常數據”具體包括以下步驟：

計算出電性數據中的最大值、最小值、平均值及標準差；

求出最大值與平均值的差值的絕對值及最小值與平均值的差值的絕對值確定離群標記值；

通過將離群標記值與平均值的差值的絕對值減去標準差，則得到離群標記值的殘差值；

將得到的殘差值與待查表中查表值進行比對，若殘差值大于查表值，則該離群標記值為離群值；

將該離群值從電性數據中剔除，重新計算剔除該離群值后的電性數據中的離群值，直至計算得到電性數據中所有的離群值，所述離群值為異常數據。

進一步優化，所述產品信息包括置信度；

所述“將得到的殘差值與待查表中查表值進行比對”具體包括：

將得到的殘差值與置信度對應的待查表中的查表值進行比對。