[發(fā)明專利]FOUP清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910515897.4
• 申請(qǐng)日: 2019-06-14
• 公開（公告）號(hào): CN110238143A
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周至軍;高英哲;張文福;劉璞方
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B08B9/093
• 分類號(hào): B08B9/093;B08B3/12;B08B9/08;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種FOUP清洗裝置，其特征在于，包括：

清洗腔，用于容納FOUP，所述FOUP具有用于容納晶圓的容納腔；

第一噴嘴，位于所述清洗腔內(nèi)，用于向所述容納腔噴射清洗液；

驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述FOUP在所述清洗腔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，以排出所述容納腔內(nèi)的所述清洗液；

第二噴嘴，位于所述清洗腔內(nèi)，用于向所述容納腔噴射氣體，以干燥殘留的所述清洗液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述清洗腔包括相對(duì)分布的頂壁和底壁；所述FOUP清洗裝置還包括：

升降柱，一端與所述頂壁連接、另一端安裝有超聲波發(fā)生器，且所述升降柱能夠沿豎直方向進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述FOUP包括相對(duì)分布的前部、后部以及位于所述前部和后部之間且相對(duì)分布的頂部和底部，所述前部具有用于晶圓進(jìn)出的開口；

所述清洗腔還包括位于所述頂壁與所述底壁之間、且相對(duì)分布的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁；

所述第二側(cè)壁表面具有一支架，用于與所述FOUP的底部連接；

所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述FOUP圍繞所述FOUP的軸線自轉(zhuǎn)，所述軸線自所述頂部指向所述底部且穿過所述FOUP的中心。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括位于所述清洗腔外部的驅(qū)動(dòng)器和連桿；所述連桿的一端連接所述驅(qū)動(dòng)器、另一端連接所述支架，用于驅(qū)動(dòng)所述支架整體圍繞所述軸線自轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括位于所述清洗腔外部的驅(qū)動(dòng)器和連桿；所述支架中具有一用于與所述FOUP的底部連接的轉(zhuǎn)盤；所述連桿的一端連接所述驅(qū)動(dòng)器、另一端連接所述支架，用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤沿所述軸線自轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，還包括外殼以及隔板；所述隔板將所述外殼圍繞而成的腔體分隔為所述清洗腔和驅(qū)動(dòng)腔，所述驅(qū)動(dòng)器位于所述驅(qū)動(dòng)腔。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述第一噴嘴的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述第一噴嘴至少分布于所述第一側(cè)壁和所述頂壁。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述第二噴嘴的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述第二噴嘴至少分布于所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述FOUP的底部具有至少一通孔；所述FOUP清洗裝置還包括至少一管道，所述管道用于自所述通孔向所述容納腔傳輸所述氣體。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的FOUP清洗裝置，其特征在于，所述FOUP還包括用于封閉所述開口的門板；所述第一側(cè)壁上具有一支撐板；所述支撐板朝向所述第二側(cè)壁延伸，用于承載所述門板。