[發明專利]空氣阻隔裝置、晶圓上料設備與空氣阻隔控制方法

在審

• 申請號: 201910510335.0
• 申請日: 2019-06-13
• 公開（公告）號: CN110364467A
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 李杰;趙建龍;王利強;葛林海;丁雙生
• 申請（專利權）人: 上海提牛機電設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海啟核知識產權代理有限公司 31339
• 代理人: 王仙子

1.一種空氣阻隔裝置，用于晶圓上料設備中，其特征在于，包括：基體、伸縮機構，以及空氣阻隔板；所述基體設于所述晶圓上料設備的機架，所述伸縮機構連接于所述基體與所述空氣阻隔板之間；

所述伸縮機構用于控制所述空氣阻隔板相對于所述基體伸縮；

所述空氣阻隔板相對于所述基體伸出時，能夠阻擋于所述晶圓上料設備的一個內部空間與外部的晶圓處理槽區之間；

所述空氣阻隔板相對于所述基體縮回時，所述內部空間與所述晶圓處理槽區間能夠經連通空間相連通，以使得機械手能夠經所述連通空間將所述內部空間中的晶圓運輸至所述晶圓處理器槽區。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述伸縮機構包括伸縮桿、桿套結構與伸縮驅動結構，所述桿套結構設于所述基體，所述伸縮桿穿過所述桿套結構，所述伸縮驅動結構連接所述基體與所述空氣阻隔板，所述伸縮桿與所述空氣阻隔板固定連接；

所述伸縮驅動結構用于驅動所述伸縮桿沿其長度方向相對于所述基體伸縮，以使得所述空氣阻隔板相對于所述基體伸縮。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述伸縮驅動結構為伸縮氣缸結構。

4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述伸縮桿通過設于其末端的固定條與所述空氣阻隔板固定連接，所述固定條沿所述空氣阻隔板的表面設置，且垂直于所述伸縮桿。

5.根據權利要求2至4任一項所述的裝置，其特征在于，所述伸縮機構還包括緩沖結構，所述緩沖結構連接所述基體與所述空氣阻隔板，用于在所述空氣阻隔板相對所述基體伸縮時提供緩沖作用力。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述緩沖結構與所述伸縮驅動結構分別位于所述伸縮桿的兩側。

7.根據權利要求1至4任一項所述的裝置，其特征在于，所述空氣阻隔板的用于與所述內部空間相對的一側表面設有長條狀凸起。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述長條狀凸起的長度方向垂直于所述空氣阻隔板的伸縮方向。

9.一種晶圓上料設備，其特征在于，包括權利要求1至8任一項所述的空氣阻隔裝置。

10.一種空氣阻隔控制方法，應用于晶圓上料過程中，其特征在于，包括：

在權利要求1至8任一項所述的空氣阻隔裝置中的空氣阻隔板伸出時，通過所述伸縮機構控制所述空氣阻隔板縮回，以使得所述內部空間與所述晶圓處理槽區間能夠經連通空間相連通；

利用機械手傳輸晶圓，以使得所述內部空間中的晶圓能夠經所述連通空間被輸送至所述晶圓處理槽區；

通過所述伸縮機構控制對應的空氣阻隔板伸出，直至再次需要利用機械手將所述內部空間中的晶圓輸送至所述晶圓處理槽區；其中，所述晶圓處理槽區中的晶圓被處理時，所述空氣阻隔板能夠保持伸出。