[發明專利]內腔式磁控濺射鍍膜室的裝配式結構與方法

有效

• 申請號: 201910507205.1
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN110195213B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發明（設計）人: 李峰;薛道榮;韓成明;李強;劉子毓
• 申請（專利權）人: 河北道榮新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 李林

本發明提供一種內腔式磁控濺射鍍膜室的裝配式結構與方法，包括內部可供鍍膜管通過的連續鍍膜室，所述連續鍍膜室由外至內分別設有固定套管、環形的磁鐵與環形的靶材，所述固定套管的兩端設有真空密封閥，并且設有貫通內外的抽氣口與布氣管；所述靶材具有數個并且沿鍍膜室的軸向拼接，相鄰的靶材用絕緣條相互隔絕，數個靶材均連接有外部電源；所述磁鐵呈片狀，在鍍膜室的軸向上依次層疊，與各個靶材分別對應布置。本發明可根據需鍍膜層的不同要求，設計不同長度的靶材及其組合，然后根據靶材的組成情況，裝配于相應長度的固定套管內，而磁鐵也可根據靶材長度層疊至相應長度位置，提高內腔式鍍膜設備的適應性。

技術領域

本發明涉及一種磁控濺射鍍膜設備，特別是涉及一種槽式鏡面集熱管磁控濺射鍍膜設備，屬于太陽能光熱生產設備領域。

背景技術

目前，聚光型太陽能集熱器按照接收器的形狀不同，主要分為槽式、塔式、碟式以及復合拋物面式幾種類型，其中槽式聚光系統是目前國內外開發利用最多的一種集熱器類型，主要是因為其具有安裝方便，結構簡單，安全且可靠性高等優點。太陽能槽式集熱器在太陽能利用系統中占據主導地位，它為系統提供熱源，其效率和投資成本會影響到整個集熱系統的效率和經濟性。

太陽能集熱器作為太陽能熱利用的主要元件，具有十分廣泛的應用價值，但相比之下，太陽能槽式集熱器比傳統的太陽能集熱器具有更高的熱效率，尤其在熱發電領域具有相當成熟的應用技術。

槽式集熱器是一種利用的是光熱轉化方式，通過聚焦、反射和吸收等過程實現光能到熱能的轉化，使換熱介質達到一定溫度，以滿足不同負載的需求的集熱裝置。槽式集熱器屬于中高溫集熱器的范疇，可以使換熱工質得到比較高的溫度，可被用到熱發電、海水淡化處理、供暖工程、吸收式制冷等生活和生產領域。

由于太陽能廣闊的應用前景，太陽能是目前槽式集熱器的主要能量來源。太陽能槽式集熱器在太陽能利用系統中占據主導地位，它為系統提供熱源，其效率和投資成本會影響到整個集熱系統的效率和經濟性。槽式太陽能集熱裝置采用真空玻璃管結構，即內管采用鍍有高吸收率選擇性吸收涂層的金屬管，管內走加熱介質，在外面為玻璃管，玻璃管與金屬管間抽真空以抑制對流和傳導熱損失。

其中槽式拋物面集熱管是該系統的核心部件，而現有國內外以磁控濺射沉積太陽能選擇性吸收涂層為主，槽式拋物面集熱管的長度被鍍膜機所限制，為了操作方便，2000mm左右的鋼管鍍膜方式選擇立式鍍膜，考慮到更換磁控濺射靶材、裝卸鋼管基材的便捷性，4000mm左右及以上的鋼管鍍膜方式選擇臥式。

現有的連續鍍膜生產線大都采用復雜的濺射設備環設于鍍膜管的外圍，利用星型轉動的方式進行鍍膜，這種生產線不僅繁瑣笨重，而且由于靶材至鍍膜表面距離遠、磁場不均勻，還存在鍍膜均勻度低下、沉積速率低下的問題。

也有少數鍍膜生產線采用了內腔式的濺射設備，例如CN201510242400.8以及CN201711066320.7等專利，但這些設備只適合對特定型號的鍍膜管進行特定成分的磁控鍍膜，當目標鍍膜的成分發生變化時，無法迅速切換，適應較差。

發明內容

本發明提供一種內腔式磁控濺射鍍膜室的裝配式結構與方法，是為了解決現有裝置存在的上述技術問題。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：

一種內腔式磁控濺射鍍膜室的裝配式結構，其特征在于：包括內部可供鍍膜管通過的連續鍍膜室，所述連續鍍膜室由外至內分別設有固定套管、環形的磁鐵與環形的靶材，其中：

所述固定套管的兩端設有真空密封閥，并且設有貫通內外的抽氣口與布氣管；

所述靶材具有數個并且沿鍍膜室的軸向拼接，相鄰的靶材用絕緣條相互隔絕，數個靶材均連接有外部電源；

所述磁鐵呈片狀，在鍍膜室的軸向上依次層疊，與各個靶材分別對應布置。