[發明專利]體聲波諧振器

在審

• 申請號: 201910506590.8
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN110784186A
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發明（設計）人: 申蘭姬;李泰京;慶濟弘;孫晉淑;李華善;金成善
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17
• 代理公司: 11286 北京銘碩知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉奕晴;金光軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基板；

第一電極，設置在所述基板上；

壓電層，所述壓電層的至少一部分設置在所述第一電極上；

第二電極，設置在所述壓電層上；以及

鈍化層，設置為覆蓋所述第一電極和所述第二電極，

其中，所述第一電極和所述第二電極中任意一者或者兩者包含鋁合金層，并且

所述壓電層和所述鈍化層中的任意一者或兩者包含氮化鋁或者添加有摻雜材料的氮化鋁，并且所述壓電層和所述鈍化層中的任意一者或兩者具有小于1.58的c/a的比，其中，c為面外晶格常數，a為面內晶格常數。

2.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述鋁合金層包含鈧。

3.根據權利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述鈧的含量為0.1at％到5at％。

4.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述壓電層和所述鈍化層的所述摻雜材料包含從由鈧、鉺、釔、鑭、鈦、鋯、鉿、鉭和鈮或它們的組合組成的組中選擇的一者。

5.根據權利要求4所述的體聲波諧振器，所述壓電層和所述鈍化層的所述摻雜材料的含量為0.1at％到30at％。

6.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述壓電層和所述鈍化層中的任意一者或兩者在堆疊時受到張力。

7.根據權利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述第一電極和所述第二電極均包含含有鈧的鋁合金層。

8.根據權利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述第一電極包括利用鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻中的任意一者形成的層或者包括利用包含從由鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻組成的組中選擇的任意一者的合金形成的層，并且

所述第二電極包含含有鈧的鋁合金層。

9.根據權利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述第一電極包含含有鈧的鋁合金層，并且

所述第二電極包括利用鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻中的任意一者形成的層或者包括利用包含從由鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻組成的組中選擇的任意一者的合金形成的層。

10.根據權利要求7所述的體聲波諧振器，其中，所述第一電極包括1-1電極層和1-2電極層，所述1-1電極層包括利用鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻中的任意一者形成的層或者包括利用包含從由鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻組成的組中選擇的任意一者的合金形成的層，所述1-2電極層設置在所述1-1電極層的上部并且包括含有鈧的鋁合金層。

11.根據權利要求7所述的體聲波諧振器，其中，所述第一電極包括1-1電極層和1-2電極層，所述1-1電極層包括含有鈧的鋁合金層，所述1-2電極層設置在所述1-1電極層的上部并且包括利用鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻中的任意一者形成的層或者包括利用包含從由鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻組成的組中選擇的任意一者的合金形成的層。

12.根據權利要求7所述的體聲波諧振器，其中，所述第二電極包括2-1電極層和2-2電極層，所述2-1電極層包括利用鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻中的任意一者形成的層或者包括利用包含從由鉬、釕、鎢、銥、鉑、銅、鈦、鉭、鎳和鉻組成的組中選擇的任意一者的合金形成的層，所述2-2電極層設置在所述2-1電極層的上部并且包括含有鈧的鋁合金層。