[發明專利]一種基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法

在審

• 申請號: 201910505783.1
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN112083022A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 蔡齊航;謝亞珍;郭語柔
• 申請（專利權）人: 蘇試宜特（上海）檢測技術有限公司
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202;G01N23/2005;G01N1/28
• 代理公司: 上海唯源專利代理有限公司 31229
• 代理人: 曾耀先

本發明的一種基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法，包括步驟：將平面樣品放入透射電子顯微鏡中觀察，并記錄平面樣品上的特定微小區域的位置信息；根據記錄的位置信息對對平面樣品進行金屬線性沉積，于平面樣品上形成線性路徑；將帶有線性路徑的平面樣品放入透射電子顯微鏡中，觀察線性路徑是否落入特定微小區域內：若是，則以該線性路徑作為將平面樣品轉截面樣品時的執行位置；若不是，則再次對所述平面樣品進行所述金屬線性沉積，直至有所述線性路徑落入所述特定微小區域內為止。本發明彌補了掃描式電子顯微鏡分辨率不高的缺點，可以對特定微小區域進行精準的定位，避免了誤認盲切，能夠得到符合要求的截面樣品。

技術領域

本發明涉及制作透射電子顯微鏡樣品的技術領域，尤其涉及一種基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法。

背景技術

對于透射電子顯微鏡樣品，通常是采用雙束聚焦離子束的掃描式電子顯微鏡進行制作，制成的樣品一般分為兩種，一種是平面樣品(如圖1)，另一種則是截面樣品(如圖2)。其中，平面樣品包含的面積通常較大，在透射電子顯微鏡中觀察時，容易看到許多特定微小區域(如異常點)，如若對這些特定微小區域進行進一步觀察和分析的話，就需要將該平面樣品轉成截面樣品，即對平面樣品上對應于特定微小區域的位置進行切割，進而制成截面樣品。

但由于掃描式電子顯微鏡的分辨率較低，在透射電子顯微鏡內所觀察到的特定微小區域于掃描式電子顯微鏡內無法精準的定位，對于平面樣品進行再次加工轉成截面樣品時，無法明確的看到要執行的正確位置，只能根據大概位置進行模糊定位，很容易造成誤認盲切，嚴重影響到后續的觀察和分析。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法，可在掃描式電子顯微鏡分辨率較低的情況下，也能對平面樣品上特定微小區域進行準確定位，制作符合要求的截面樣品。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：一種基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法，包括步驟：

將平面樣品放入透射電子顯微鏡中觀察，并記錄所述平面樣品上的特定微小區域的位置信息；

將所述平面樣品放入雙束聚焦離子束的掃描式電子顯微鏡中，根據記錄的所述位置信息對所述平面樣品進行金屬線性沉積，于所述平面樣品上形成線性路徑；

將帶有所述線性路徑的所述平面樣品放入所述透射電子顯微鏡中，觀察所述線性路徑是否落入所述特定微小區域內：

若是，則將落入所述特定微小區域的所述線性路徑作為將所述平面樣品轉截面樣品時的執行位置；

若不是，則再次對所述平面樣品進行所述金屬線性沉積，直至有所述線性路徑落入所述特定微小區域內為止。

本發明的方法能夠對平面樣品上的特定微小區域進行準確標記，彌補了掃描式電子顯微鏡分辨率不高的缺點，避免了誤認盲切，能夠得到符合要求的截面樣品，便于對特定微小區域進行進一步的觀察和分析。

本發明基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法的進一步改進在于：在記錄所述特定微小區域的位置信息時，一并記錄尺寸信息，并且在進行所述金屬線性沉積時，于所述平面樣品上形成兩條以上間隔排列的所述線性路徑，同時控制相鄰所述線性路徑之間的距離不大于所述特定微小區域的尺寸。

通過上述方法，進行一次金屬線性沉積形成若干條線性路徑，增加了至少有一條線性路徑可以實際地落入特定微小區域內的概率，縮短了操作時間。

本發明基于平面樣品轉截面樣品的特定微小區域標定方法的進一步改進在于：當所述平面樣品上包括至少兩個所述特定微小區域時，所述尺寸信息為面積最小的所述特定微小區域的尺寸信息，在進行所述金屬線性沉積時，于所述平面樣品的整個平面上形成一定數量的所述線性路徑，同時控制相鄰所述線性路徑之間的距離不大于面積最小的所述特定微小區域的尺寸。