[發(fā)明專利]用于基板輸送系統(tǒng)的示教裝置及示教方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910502824.1
• 申請(qǐng)日: 2019-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN110600397A
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 磯川英立;橋本幸一;稻葉充彥;飯?zhí)锺R琴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 31300 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 肖華

本發(fā)明能夠不受進(jìn)行示教作業(yè)的作業(yè)人員的技能影響進(jìn)行示教。提供用于基板輸送系統(tǒng)的示教裝置，基板輸送系統(tǒng)具有構(gòu)成為能對(duì)基板進(jìn)行保持的基板輸送裝置及構(gòu)成為能從基板輸送裝置接收基板的基板接收裝置，示教裝置具有：構(gòu)成為保持于基板輸送裝置的示教基板；能被安裝于示教基板的攝影機(jī)；及用于控制保持著示教基板的基板輸送裝置及/或基板接收裝置的動(dòng)作的控制裝置，控制裝置具有：接收由攝影機(jī)拍攝的圖像的接收部；根據(jù)接收的圖像計(jì)算基板輸送裝置與基板接收裝置的相對(duì)的位置關(guān)系的解析部；及根據(jù)由解析部計(jì)算的基板輸送裝置與基板接收裝置的相對(duì)的位置關(guān)系，確定基板輸送裝置及/或基板接收裝置的停止位置的確定部。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及用于基板輸送系統(tǒng)的示教裝置及示教方法。

背景技術(shù)

近年，隨著半導(dǎo)體設(shè)備高集成化的推進(jìn)，電路的布線正在微細(xì)化、布線間距離也在變窄。在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中，在硅基板上將多種材料反復(fù)形成膜狀，形成層疊構(gòu)造。為了形成該層疊構(gòu)造，使基板的表面平坦的技術(shù)變得重要。作為這樣的使基板的表面平坦化的一個(gè)技術(shù)手段，廣泛使用進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的研磨裝置(也稱作化學(xué)機(jī)械研磨裝置)。

該化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)裝置一般具備安裝有研磨墊的研磨臺(tái)、保持基板的頂環(huán)以及將研磨液向研磨墊上供給的噴嘴。一邊將研磨液從噴嘴供給到研磨墊上，一邊由頂環(huán)將基板推壓到研磨墊，進(jìn)而使頂環(huán)與研磨臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，從而對(duì)基板進(jìn)行研磨使其表面平坦。

基板處理裝置具備用來進(jìn)行CMP的CMP單元、用來對(duì)研磨后的基板進(jìn)行清洗的清洗單元，還具備用來使清洗后的基板干燥的干燥單元。在這樣的基板處理裝置中，為了使基板在各單元間移動(dòng)，具備基板輸送系統(tǒng)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2017－183647號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

在基板處理裝置中，要求縮短起動(dòng)時(shí)間及維護(hù)時(shí)間。在基板處理裝置所具備的基板輸送系統(tǒng)中，由機(jī)械臂等保持基板，或者載置到可動(dòng)載物臺(tái)上使基板移動(dòng)。為了將基板正確地輸送，需要進(jìn)行用來示范對(duì)基板進(jìn)行保持的機(jī)械臂、可動(dòng)載物臺(tái)的停止位置的作業(yè)(示教作業(yè))。以往，這樣的示教作業(yè)由人類一邊目視確認(rèn)基板的停止位置一邊進(jìn)行，在起動(dòng)時(shí)、維護(hù)時(shí)進(jìn)行示教作業(yè)的情況下需要大量時(shí)間。另外，還存在因進(jìn)行示教作業(yè)的作業(yè)人員的經(jīng)驗(yàn)、技能而產(chǎn)生其正確性偏差的問題。本申請(qǐng)的目的是提供一種可以不受進(jìn)行示教作業(yè)的作業(yè)人員的技能影響地進(jìn)行示教的技術(shù)。

用于解決課題的技術(shù)手段

提供一種用于基板輸送系統(tǒng)的示教裝置，所述基板輸送系統(tǒng)具有：基板輸送裝置，所述基板輸送裝置構(gòu)成為能夠?qū)暹M(jìn)行保持；以及基板接收裝置，所述基板接收裝置構(gòu)成為能夠從所述基板輸送裝置接收基板，所述示教裝置具有：示教基板，所述示教基板構(gòu)成為保持于所述基板輸送裝置；攝影機(jī)，所述攝影機(jī)能夠被安裝于所述示教基板；以及控制裝置，所述控制裝置用于對(duì)保持著所述示教基板的所述基板輸送裝置及/或所述基板接收裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制，所述控制裝置具有：接收部，所述接收部接收由所述攝影機(jī)拍攝的圖像；解析部，所述解析部根據(jù)接收的所述圖像計(jì)算所述基板輸送裝置與所述基板接收裝置的相對(duì)的位置關(guān)系；以及確定部，所述確定部根據(jù)由所述解析部計(jì)算的所述基板輸送裝置與所述基板接收裝置的相對(duì)的位置關(guān)系，確定所述基板輸送裝置及/或所述基板接收裝置的停止位置。

附圖說明

圖1是表示一個(gè)實(shí)施方式涉及的基板處理裝置的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖2是表示一個(gè)實(shí)施方式涉及的輸送部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的分解立體圖。

圖3是示意地表示一個(gè)實(shí)施方式涉及的第一研磨裝置的立體圖。

圖4是表示一個(gè)實(shí)施方式涉及的輸送機(jī)械手的側(cè)視圖。

圖5是表示一個(gè)實(shí)施方式涉及的第一輸送單元的立體圖。