[發明專利]支撐裝置及檢測設備

有效

• 申請號: 201910493117.0
• 申請日: 2019-06-06
• 公開（公告）號: CN110182715B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 陳魯;龐芝亮;黃有為
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: B66F7/12
• 分類號: B66F7/12;B66F7/14;B66F7/28;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.支撐裝置，其特征在于，包括升降機構，所述升降機構包括：

卡盤，用于支撐OLED基板，包括支撐面、與所述支撐面相對的背面和通孔，所述通孔自所述支撐面貫穿至背面；

升降架組件，包括支撐架及位于支撐架的多個支撐件，所述支撐架用于帶動所述支撐件運動；所述支撐件用于支撐樣品，并帶動樣品升降；所述支撐件包括相對的第一端和第二端，所述第二端與所述支撐架連接，所述第一端穿入所述通孔中；

驅動裝置，包括驅動部件和傳動部件，所述驅動部件用于產生動力，所述傳動部件用于將所述動力傳遞至升降架組件；所述驅動部件的動力輸出軸與所述升降架組件的運動方向之間具有夾角；

其中，傳動部件為包括絲杠和升降滑臺，升降架組件通過支撐架安裝于所述升降滑臺，所述升降滑臺，傳動部件還被配置為使所述絲杠旋轉運動轉化為所述升降滑臺的直線運動；

還包括用于帶動所述升降機構平移或/和旋轉的運動臺，所述運動臺包括臺面，所述升降機構位于所述臺面表面；

所述運動臺包括：第一平移臺，用于帶動升降機構沿第一方向移動，所述第一方向垂直于所述支撐件的運動方向；和/或，

所述運動臺包括：第一旋轉臺，用于帶動升降機構繞旋轉軸旋轉，所述旋轉軸平行于所述支撐件的運動方向。

2.根據權利要求1所述的支撐裝置，其特征在于，所述驅動部件的動力輸出軸垂直于所述支撐架的移動方向，所述傳動部件用于將所述驅動部件輸出的旋轉運動轉換為豎向直線運動以帶動所述支撐架移動。

3.根據權利要求2所述的支撐裝置，其特征在于，所述傳動部件為渦輪絲杠升降組件，包括渦輪傳動機構和絲杠螺母傳動機構；

所述渦輪傳動機構包括渦輪以及與所述渦輪相配合并由所述驅動部件驅動的蝸桿；

所述絲杠螺母傳動機構包括沿豎向方向設置的絲杠、以及用于帶動所述支撐架運動的升降部件，所述升降部件設有螺母并通過所述螺母與所述絲杠相配合；所述絲杠同軸連接于所述渦輪，所述蝸桿的中心軸線垂直于所述絲杠的中心軸線。

4.根據權利要求3所述的支撐裝置，其特征在于，所述渦輪絲杠升降組件的組數為多組，其中，多組所述渦輪絲杠升降組件的蝸桿之間設有中間軸，所述中間軸用于在多組渦輪絲杠升降組件之間傳遞動力；所述驅動部件與所述中間軸傳動連接。

5.根據權利要求4所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐架上設有對應于所述渦輪絲杠升降組件的孔位，所述渦輪絲杠升降組件從所述孔位穿過所述支撐架。

6.根據權利要求3所述的支撐裝置，其特征在于，所述升降部件位于所述支撐架遠離所述卡盤的一側，所述升降部件設有承載面，所述承載面與所述支撐架接觸。

7.根據權利要求3至6中任一項所述的支撐裝置，其特征在于，所述絲杠螺母傳動機構設有升降基座，所述升降基座上設有滑軌，所述滑軌沿所述支撐架運動方向延伸，所述升降部件上設有滑塊，所述滑塊與所述滑軌滑動連接。

8.根據權利要求7所述的支撐裝置，其特征在于，所述升降部件上設有擋片，所述升降基座上設有能夠由所述擋片在上限位置觸發的上限位開關和能夠由所述擋片在下限位置觸發的下限位開關。

9.根據權利要求1至6中任一項所述的支撐裝置，其特征在于，還包括基座，所述支撐架位于基座和卡盤之間；

所述基座與卡盤之間設有若干連接柱，所述支撐架上設有讓位孔，所述連接柱穿過所述讓位孔。

10.根據權利要求9所述的支撐裝置，其特征在于，所述傳動部件位于所述卡盤和支撐架之間的空間中；或者，所述傳動部件位于所述卡盤和基座之間的空間中。

11.根據權利要求1至6中任一項所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐面的長度大于或等于1500mm；所述支撐面的寬度大于或等于1000mm。