[發(fā)明專利]支撐裝置及檢測設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910493117.0
• 申請日: 2019-06-06
• 公開（公告）號: CN110182715B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳魯;龐芝亮;黃有為
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: B66F7/12
• 分類號: B66F7/12;B66F7/14;B66F7/28;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本發(fā)明公開了一種支撐裝置及檢測設(shè)備，所述升降機構(gòu)包括：卡盤，其上設(shè)有通孔；升降架組件，包括支撐架及位于支撐架的多個支撐件，所述支撐件穿入所述卡盤的通孔中；驅(qū)動裝置，包括驅(qū)動部件和傳動部件，所述驅(qū)動部件用于產(chǎn)生動力，所述傳動部件用于將所述動力傳遞至升降架組件；所述驅(qū)動部件的動力輸出軸與所述升降架組件的運動方向之間具有夾角。該支撐裝置的升降機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊、縱向尺寸較小，十分有利于空間布局以及與其它設(shè)備相銜接或配合。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及載運技術(shù)領(lǐng)域，尤其是在樣品生產(chǎn)或檢測過程中用于對樣品進行升降操作的升降機構(gòu)。本發(fā)明還涉及設(shè)有所述升降機構(gòu)的支撐裝置和檢測設(shè)備。

背景技術(shù)

OLED，即有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機電激光顯示(Organic Electroluminesence Display,OELD)。由于具備厚度小、重量輕、抗震性能更好、可視角度大、響應(yīng)時間短、發(fā)光效率更高、能夠在不同材質(zhì)的基板上制造、可以做成能彎曲的柔軟顯示器等優(yōu)點，已經(jīng)在許多行業(yè)的顯示設(shè)備上得到了廣泛應(yīng)用。

目前，在OLED基板生產(chǎn)和檢測領(lǐng)域，隨著面板生產(chǎn)工藝的改進，檢測精度要求越來越高，提升機構(gòu)作為工藝腔室或者檢測腔室和機械手之間的傳送媒介，對其運動穩(wěn)定性、一致性和運動精度的要求越來越高，特別是在OLED基板檢測領(lǐng)域。

現(xiàn)有升降機構(gòu)大都采用單一的氣缸或液壓缸進行驅(qū)動，雖然可以直接進行垂直升降，但是，由于氣缸或液壓缸垂向布置在固定板下方，升降機構(gòu)的縱向尺寸L為固定板到頂部設(shè)備的距離L1加氣缸或液壓缸本身的長度L2，即L＝L1+L2，過長的縱向尺寸導(dǎo)致升降機構(gòu)的結(jié)構(gòu)不夠緊湊，不利于空間布局以及與其它設(shè)備相銜接或配合。

此外，氣缸或液壓缸的控制平臺上下移動量的精度相對較低，在頂桿數(shù)量較多的情況下，單一的氣缸或液壓缸難以將作用力均勻的傳遞至所有的頂桿，如果增設(shè)氣缸或液壓缸，則又會出現(xiàn)多個氣缸或液壓缸難以同步運行的問題。

再有，驅(qū)動機構(gòu)的負載較大，在負載較大的情況下，升降機構(gòu)的運動慣量必然較大，導(dǎo)致平臺在承載OLED基板之后運動的穩(wěn)定性、一致性和精度變差，越來越難以滿足高精度生產(chǎn)和檢測的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種支撐裝置。該支撐裝置的升降機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊、縱向尺寸較小，十分有利于空間布局以及與其它設(shè)備相銜接或配合。

本發(fā)明的另一目的是提供一種設(shè)有所述支撐裝置的檢測設(shè)備。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種支撐裝置，包括升降機構(gòu)，所述升降機構(gòu)包括：

卡盤，包括支撐面、與所述支撐面相對的背面和通孔，所述通孔自所述支撐面貫穿至背面；

升降架組件，包括支撐架及位于支撐架的多個支撐件，所述支撐架用于帶動所述支撐件運動；所述支撐件用于支撐樣品，并帶動樣品升降；所述支撐件包括相對的第一端和第二端，所述第二端與所述支撐架連接，所述第一端穿入所述通孔中；

驅(qū)動裝置，包括驅(qū)動部件和傳動部件，所述驅(qū)動部件用于產(chǎn)生動力，所述傳動部件用于將所述動力傳遞至升降架組件；所述驅(qū)動部件的動力輸出軸與所述升降架組件的運動方向之間具有夾角。

還包括用于帶動所述升降機構(gòu)平移或/和旋轉(zhuǎn)的運動臺，所述運動臺包括臺面，所述升降機構(gòu)位于所述臺面表面；

所述運動臺包括：第一平移臺，用于帶動升降機構(gòu)沿第一方向移動，所述第一方向垂直于所述支撐件的運動方向；和/或，

所述運動臺包括：第一旋轉(zhuǎn)臺，用于帶動升降機構(gòu)繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)軸平行于所述支撐件的運動方向。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動部件的動力輸出軸垂直于所述支撐架的移動方向，所述傳動部件用于將所述驅(qū)動部件輸出的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為豎向直線運動以帶動所述支撐架移動。