[發明專利]可吊裝多個石墨舟的石墨舟吊裝結構及PECVD設備

在審

• 申請號: 201910482862.5
• 申請日: 2019-06-04
• 公開（公告）號: CN110116962A
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 鄧金生;周宏業;黎佐興;李時俊
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: B66C1/22
• 分類號: B66C1/22;C23C16/50
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

本發明公開了一種可吊裝多個石墨舟的石墨舟吊裝結構及PECVD設備，具體包括安裝板，多個間隔設置在安裝板底部的吊爪，每個所述石墨舟上設有配合相鄰兩個吊爪進行固定的吊裝位。本發明通過設置多個吊爪，實現了自動化單次對兩個石墨舟或多石墨舟的同步吊裝，成倍提高對石墨舟自動化吊裝的效率，大大減小石墨舟在各工藝段吊裝過程中時間，提高了太陽能電池片整體生產效率。

技術領域

本發明涉及太陽能工藝設備領域，特別是涉及一種可吊裝多個石墨舟的石墨舟吊裝結構及PECVD設備。

背景技術

隨著時間的推移，化石能源的稀缺性越來越明顯。在化石能源供應日趨緊張的背景下，太陽能作為人類取之不盡用之不竭的可再生能源，其特有的充分清潔性，絕對安全性，相對的廣泛性，在長期的能源戰略中具有重要的影響地位。石墨舟作為太陽能電池片生產過程中的PECVD工藝前后存放的重要載體，其具有硅片存放容積大，減小人工與硅片的接觸污染、大幅度增加取放片的穩定性等特點，被業界公認為光伏制造行業的重點設備。

太陽能電池片在生產過程不同工藝段設備的切換過程中，作為太陽能電池片載體的石墨舟，須對石墨舟進行自動化設備的工位（位置）吊裝，傳統石墨舟在自動化及工藝設備中對接存在石墨舟在傳統自動化吊裝方式上存在單一吊裝（即一次吊裝只能吊裝一具石墨舟）。

發明內容

本發明為了解決上述現有技術中的石墨舟在傳統自動化吊裝方式上存在單一吊裝的技術問題，提出一種可吊裝多個石墨舟的石墨舟吊裝結構及PECVD設備。

本發明采用的技術方案是：

本發明提出了一種石墨舟吊裝結構，包括安裝板，多個間隔設置在安裝板底部的吊爪，每個所述石墨舟上設有配合相鄰兩個吊爪進行固定的吊裝位。

優選地，所述吊裝位為貫穿石墨舟兩側的凹槽，所述吊爪上的爪鉤部可隨安裝板移動插入所述凹槽內。

優選地，所述吊爪包括氣缸和通過電缸帶動對應吊裝位的頂緊件。

優選地，所述吊爪包括電缸和通過電缸帶動對應吊裝位的頂緊件。

優選地，所述吊爪包括通過電機帶動絲桿和通過絲桿帶動對應吊裝位的頂緊件。

優選地，所述安裝板的底部設有滑槽，所述吊爪可通過電機驅動沿滑槽移動。

本發明還提出一種可吊裝多個石墨舟的PECVD設備，使用上述的石墨舟吊裝結構。

與現有技術比較，本發明通過設置多個吊爪，實現了自動化單次對兩個石墨舟或多石墨舟的同步吊裝，成倍提高對石墨舟自動化吊裝的效率，大大減小石墨舟在各工藝段吊裝過程中時間，提高了太陽能電池片整體生產效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明的一實施例的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本發明所要解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

需要說明的是，當元件被稱為“固定于”或“設置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者間接在該另一個元件上。當一個元件被稱為是“連接于”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或間接連接至該另一個元件上。