[發明專利]可吊裝多個石墨舟的石墨舟吊裝結構及PECVD設備在審
| 申請號： | 201910482862.5 | 申請日： | 2019-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN110116962A | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 鄧金生;周宏業;黎佐興;李時俊 | 申請（專利權）人： | 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號： | B66C1/22 | 分類號： | B66C1/22;C23C16/50 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彥;胡朝陽 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨舟 吊裝 吊爪 吊裝結構 安裝板 自動化 太陽能電池片 整體生產效率 間隔設置 工藝段 固定的 減小 配合 | ||
【權利要求書】：
1.一種石墨舟吊裝結構，其特征在于，包括安裝板（2），多個間隔設置在安裝板底部的吊爪（1），每個所述石墨舟（3）上設有配合相鄰兩個吊爪（1）進行固定的吊裝位。
2.如權利要求1所述的石墨舟吊裝結構，其特征在于，所述吊裝位為貫穿石墨舟兩側的凹槽（31），所述吊爪上的爪鉤部（11）可隨安裝板移動插入所述凹槽內。
3.如權利要求1所述的石墨舟吊裝結構，其特征在于，所述吊爪（1）包括氣缸和通過電缸帶動對應吊裝位的頂緊件。
4.如權利要求1所述的石墨舟吊裝結構，其特征在于，所述吊爪（1）包括電缸和通過電缸帶動對應吊裝位的頂緊件。
5.如權利要求1所述的石墨舟吊裝結構，其特征在于，所述吊爪（1）包括通過電機帶動絲桿和通過絲桿帶動對應吊裝位的頂緊件。
6.如權利要求1所述的石墨舟吊裝結構，其特征在于，所述安裝板（2）的底部設有滑槽，所述吊爪可通過電機驅動沿滑槽移動。
7.一種可吊裝多個石墨舟的PECVD設備，其特征在于，使用權利要求1至6任一項所述的石墨舟吊裝結構。
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