[發(fā)明專利]處理半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的有害特種廢氣的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910470143.1
• 申請(qǐng)日: 2019-05-31
• 公開（公告）號(hào): CN112007466A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪濤;張新云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/00
• 分類號(hào): B01D53/00;C01B3/04;C22B30/04
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供一種處理半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的有害特種廢氣的裝置，包括加熱裝置、冷卻裝置和除污組件，其中，加熱裝置與工業(yè)設(shè)備的廢氣排出口連接，用于對(duì)自工業(yè)設(shè)備的廢氣排出口排入至其中的廢氣進(jìn)行加熱，并從廢氣中加熱分解出氣態(tài)污染物；冷卻裝置與加熱裝置連接，用于將加熱分解后的氣態(tài)污染物冷卻凝結(jié)至固態(tài)污染物；除污組件設(shè)置在冷卻裝置內(nèi)，用于去除凝結(jié)在冷卻裝置上的固態(tài)污染物。本發(fā)明提供的處理半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的有害特種廢氣的裝置能夠避免氣流通道的阻塞，提高廢氣處理的便捷性，提高廢氣處理的效率，并能夠減少水資源的利用，降低廢氣處理的成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及環(huán)境保護(hù)技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種處理半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的有害特種廢氣的裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的工業(yè)廢氣也呈爆發(fā)式增長。半導(dǎo)體工業(yè)廢氣含有多種有毒物質(zhì)如：砷烷、磷烷、氯化氫、氨、二氧化硫、三氧化硫、一氧化氮和二氧化氮等，若這些有毒物質(zhì)不經(jīng)過處理隨意排放，將會(huì)嚴(yán)重威脅到人類的生命安全。因此，半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備都需要設(shè)置廢氣處理裝置，將含有有毒物質(zhì)的氣體凈化后排入大氣。

在現(xiàn)有技術(shù)中，半導(dǎo)體制造工業(yè)用于廢氣處理的裝置主要有三種類型：1)間接燃燒濕式廢氣處理裝置，其是間接加熱或燃燒廢氣后再通過水過濾廢氣；2)濕式廢氣處理裝置，其是將廢氣送入到水或通過水霧凈化廢氣，然后對(duì)水進(jìn)行凈化處理；3)直接燃燒濕式廢氣處理裝置，其是通過直接高溫燃燒廢氣，再利用水霧或水流對(duì)該廢氣進(jìn)行凈化。

但是，在現(xiàn)有技術(shù)中，廢氣燃燒后會(huì)產(chǎn)生大量固體灰塵以及顆粒物，這些固體灰塵以及顆粒物會(huì)在重力的作用下沉積在廢氣處理裝置的底部或內(nèi)部上，阻塞廢氣處理裝置的內(nèi)部氣流通道，導(dǎo)致廢氣處理效率下降，并且，對(duì)于廢氣中有毒物質(zhì)的處理均需要利用水進(jìn)行過濾凈化，這就導(dǎo)致廢氣的處理需要消耗大量的水資源，造成處理廢氣的成本很高，并且還需要對(duì)含有有毒物質(zhì)的水進(jìn)行處理，將水和有毒物質(zhì)分離之后，才能對(duì)有毒物質(zhì)和水進(jìn)行排放或者繼續(xù)使用，導(dǎo)致處理廢氣的工藝繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種處理半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的有害特種廢氣的裝置，其能夠避免氣流通道的阻塞，提高廢氣處理的便捷性，提高廢氣處理的效率，并能夠減少水資源的利用，降低廢氣處理的成本。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種處理半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的有害特種廢氣的裝置，包括加熱裝置(11)、冷卻裝置(12)和除污組件，其中，所述加熱裝置(11)與工業(yè)設(shè)備的廢氣排出口連接，用于對(duì)自所述工業(yè)設(shè)備的廢氣排出口排入至其中的廢氣進(jìn)行加熱，并從所述廢氣中加熱分解出氣態(tài)污染物；

所述冷卻裝置(12)與所述加熱裝置(11)連接，用于將加熱分解后的所述氣態(tài)污染物冷卻凝結(jié)至固態(tài)污染物；

所述除污組件設(shè)置在所述冷卻裝置(12)內(nèi)，用于去除凝結(jié)在所述冷卻裝置(12)上的所述固態(tài)污染物。

優(yōu)選的，所述冷卻裝置(12)包括冷卻腔體(121)和冷卻管(122)，所述除污組件包括驅(qū)動(dòng)組件、內(nèi)磁力件(123)和外磁力件(124)，其中，所述冷卻腔體(121)與所述加熱裝置(11)連接，所述冷卻管(122)設(shè)置在所述冷卻腔體(121)中，用于將所述冷卻腔體(121)中的所述氣態(tài)污染物冷卻凝結(jié)至所述固態(tài)污染物；

所述內(nèi)磁力件(123)設(shè)置在所述冷卻管(122)中，并能夠沿所述冷卻管(122)的軸線的方向運(yùn)動(dòng)；所述驅(qū)動(dòng)組件與所述內(nèi)磁力件(123)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述內(nèi)磁力件(123)沿所述冷卻管(122)的軸線的方向運(yùn)動(dòng)；

所述外磁力件(124)與所述冷卻管(122)的外周壁相配合的套設(shè)在所述冷卻管(122)的外周壁上，并與所述內(nèi)磁力件(123)相互吸引，以跟隨所述內(nèi)磁力件(123)沿所述冷卻管(122)的軸線的方向運(yùn)動(dòng)，用于去除凝結(jié)在所述冷卻管(122)的外周壁上的所述固態(tài)污染物。