[發明專利]用于分子束外延設備的烘烤服及其使用方法

有效

• 申請號: 201910462458.1
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN110184589B
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發明（設計）人: 王叢;高達
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 于金平

1.一種用于分子束外延設備的烘烤服，其特征在于，所述分子束外延設備包括本體部和至少一個凸起部，所述凸起部與所述本體部連接且突出于所述本體部的外表面，所述烘烤服包括：

適于包裹所述本體部的主體結構，所述主體結構包括至少一個孔洞；和

與所述孔洞一一對應的分體結構，所述分體結構均與所述主體結構可拆卸地連接，且每個所述分體結構適于遮擋其對應的所述孔洞，每個分體結構均設有一個通孔，所述通孔與所述凸起部一一對應且尺寸相同，并套設于對應的凸起部；

所述通孔的內周壁與其對應的所述凸起部的外周壁密封配合。

2.如權利要求1所述的烘烤服，其特征在于，所述通孔的內周壁與其對應的所述凸起部的外周壁貼合。

3.如權利要求1所述的烘烤服，其特征在于，還包括：

多個拼接片，組合后與所述通孔的外周形狀相適應，每個所述拼接片的一端均與所述通孔的壁面連接，所述拼接片適于與所述凸起部的外周壁接觸。

4.如權利要求3所述的烘烤服，其特征在于，多個所述拼接片適于遮擋所述通孔。

5.如權利要求1所述的烘烤服，其特征在于，所述分體結構包括分割段，所述分割段的一端延伸至所述通孔，所述分割段的另一端延伸至所述分體結構的邊緣，所述通孔適于從所述分割段套設于所述凸起部。

6.如權利要求1所述的烘烤服，其特征在于，所述分體結構與所述主體結構通過魔術貼連接。

7.如權利要求1所述的烘烤服，其特征在于，所述孔洞呈正多邊形、圓形或橢圓形；

所述分體結構的形狀與所述孔洞的形狀相同。

8.一種用于分子束外延設備的烘烤服的使用方法，其特征在于，所述烘烤服為如權利要求1-7中任意一項所述的烘烤服；

所述使用方法包括：

將所述主體結構套設于所述本體部，所述凸起部穿設于所述主體結構的孔洞；

將所述分體結構外套于所述凸起部，將所述分體結構與所述主體結構連接。