[發(fā)明專利]用于增強三維結(jié)構(gòu)到襯底的粘附的方法以及相關(guān)組合件及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910455692.1
• 申請日: 2019-05-29
• 公開（公告）號: CN110620048B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: C·J·甘比;N·段;C·S·蒂瓦里;O·R·費伊;陳瑩
• 申請（專利權(quán)）人: 美光科技公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L21/67
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 王龍

1.一種增強3D結(jié)構(gòu)到襯底的粘附的方法，所述方法包括：

將光可界定材料施加到襯底的表面且圍繞從所述表面突出的至少一個3D結(jié)構(gòu)的外圍；

將鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料暴露于小于足以穿透所述光可界定材料的整個厚度的輻射能量劑量的輻射能量亞劑量；

在將鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料暴露于所述輻射能量亞劑量的同時將與所述至少一個3D結(jié)構(gòu)橫向隔開且圍繞鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料的所述光可界定材料的至少一個其它部分暴露于所述輻射能量劑量；

移除之前暴露于所述輻射能量劑量的所述光可界定材料的所述至少一個其它部分；及

允許鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料改變形狀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中將所述光可界定材料的所述至少一個其它部分暴露于所述輻射能量劑量包括使所述光可界定材料的所述至少一個其它部分可溶于顯影劑中，

移除所述光可界定材料的所述至少一個其它部分包括將所述可溶性光可界定材料溶解在顯影劑中；且

將鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料暴露于所述輻射能量亞劑量包括僅使所述光可界定材料的部分厚度可溶于所述顯影劑中，且進一步包括通過溶解在所述顯影劑中而僅移除所述光可界定材料的所述部分厚度以留下所述光可界定材料的剩余部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其進一步包括將鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料的所述剩余部分固化成固態(tài)以繞所述3D結(jié)構(gòu)的外圍的至少部分形成支撐結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中固化所述光可界定材料的所述剩余部分進一步包括將所述支撐結(jié)構(gòu)粘附到所述至少一個3D結(jié)構(gòu)及所述支撐結(jié)構(gòu)下方的所述襯底的所述表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中將光可界定材料施加到襯底的表面包括將所述光可界定材料施加到所述表面上方的鈍化材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中將光可界定材料施加到襯底的所述表面進一步包括除將所述光可界定材料施加到所述鈍化材料之外還將所述光可界定材料施加到晶種材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其進一步包括在固化鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料的所述剩余部分之后移除經(jīng)暴露晶種材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中將鄰接所述至少一個3D結(jié)構(gòu)的所述光可界定材料暴露于輻射能量亞劑量包括通過使用部分透射光掩模減少來自光源的所述輻射能量的透射來產(chǎn)生所述輻射能量劑量。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進一步包括選擇所述光可界定材料以包含選自由聚酰亞胺、環(huán)氧樹脂、聚苯并惡唑及苯并環(huán)丁烯組成的群組的電介質(zhì)材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中施加所述光可界定材料是通過旋涂、噴涂、直寫或干膜真空層壓技術(shù)中的一者來實現(xiàn)的。

11.一種增強3D結(jié)構(gòu)到襯底的粘附的方法，所述方法包括：

將正色調(diào)光可界定材料僅施加到鄰接從襯底的表面突出的至少一個3D結(jié)構(gòu)的外圍的所述表面；及

將所述正色調(diào)光可界定材料固化成固態(tài)以形成支撐件。

12.一種增強3D結(jié)構(gòu)到襯底的粘附的方法，所述方法包括：

將負(fù)色調(diào)光可界定材料僅施加到鄰接從襯底的表面突出的至少一個3D結(jié)構(gòu)的外圍的所述表面；

將所述負(fù)色調(diào)光可界定材料暴露于輻射能量；及

將所述負(fù)色調(diào)光可界定材料固化成固態(tài)以形成支撐件。