[發(fā)明專利]一種檢測(cè)FPD基板的成像系統(tǒng)及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910448588.X
• 申請(qǐng)日: 2019-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN110132999B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李波;曾耀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/956
• 分類號(hào): G01N21/956;G01N21/88
• 代理公司: 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 張凱

本發(fā)明公開了一種檢測(cè)FPD基板的成像系統(tǒng)及方法，涉及FPD基板缺陷檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。系統(tǒng)包括：同軸照明裝置，其用于凸顯FPD基板上電路線條的方位特征；圖像采集裝置，其用于采集被凸顯電路線條方位特征的FPD基板的第一圖像；暗場(chǎng)照明裝置，其用于凸顯FPD基板上電路線條的缺陷特征；圖像處理裝置，其用于根據(jù)第一圖像確定電路線條的角度，并且根據(jù)電路線條的角度把FPD基板劃分出不同的特征區(qū)域；圖像采集裝置還用于采集所有特征區(qū)域的第二圖像，圖像處理裝置獲取所有第二圖像后進(jìn)行缺陷特征識(shí)別，且對(duì)有缺陷特征的圖像進(jìn)行定位。本發(fā)明采用同軸照明裝置和暗場(chǎng)照明裝置來凸顯FPD基板上電路線條的特征，提高了對(duì)FPD基板缺陷檢測(cè)的準(zhǔn)確度和檢測(cè)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉FPD基板缺陷檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域及領(lǐng)域，具體是涉及一種檢測(cè)FPD基板的成像系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)

在FPD基板實(shí)際生產(chǎn)過程中，常出現(xiàn)例如FPD基板表面電路存在線條斷裂、缺口、線條邊緣凸起、線條孔洞、非線條區(qū)堆積等各類缺陷，對(duì)此，需要通過FPD基板缺陷檢測(cè)技術(shù)來實(shí)現(xiàn)FPD基板缺陷的檢測(cè)。特別是，在FPD基板基板檢測(cè)技術(shù)中，對(duì)于FPD基板缺陷檢測(cè)通常采用孤立的亮場(chǎng)照明或暗場(chǎng)照明來獲得FPD基板表面缺陷圖像，從而根據(jù)FPD基板表面的缺陷圖像來確定具體缺陷類型。

而采用孤立的亮場(chǎng)照明或暗場(chǎng)照明的情況下，對(duì)相機(jī)的成像產(chǎn)生干擾，對(duì)相機(jī)的分辨率要求較高，并且對(duì)FPD基板表面的探測(cè)力度仍然不足，在檢測(cè)過程中難以發(fā)現(xiàn)例如線條斷裂，缺口，線條邊緣凸起，線條孔洞，非線條區(qū)堆積等部分缺陷。因此，目前提高對(duì)FPD基板表面缺陷的檢測(cè)力度對(duì)FPD基板基板的品質(zhì)改善起到尤為重要的作用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了克服上述背景技術(shù)中的孤立的亮場(chǎng)照明或暗場(chǎng)照明的情況下，對(duì)相機(jī)的成像產(chǎn)生干擾，在檢測(cè)過程中難以發(fā)現(xiàn)FPD基板電路線條缺陷的不足，提供一種檢測(cè)FPD基板的成像系統(tǒng)及方法。

本發(fā)明提供一種檢測(cè)FPD基板的成像系統(tǒng)，其包括：

同軸照明裝置，所述同軸照明裝置用于凸顯FPD基板上電路線條的方位特征；

圖像采集裝置，其用于采集被凸顯電路線條方位特征的FPD基板的第一圖像；

暗場(chǎng)照明裝置，所述暗場(chǎng)照明裝置用于凸顯FPD基板上電路線條的缺陷特征；

圖像處理裝置，其用于根據(jù)第一圖像確定電路線條的角度，并且根據(jù)電路線條的角度把FPD基板劃分出不同的特征區(qū)域；

同時(shí)所述圖像采集裝置還用于逐個(gè)采集被凸顯FPD電路線條缺陷特征的所有所述特征區(qū)域的第二圖像；所述圖像處理裝置還用于獲取所有第二圖像后進(jìn)行缺陷特征識(shí)別，且對(duì)有缺陷特征的圖像進(jìn)行定位。

優(yōu)選方案：所述圖像采集裝置為相機(jī)，所述同軸照明裝置連接在相機(jī)的鏡頭上，所述同軸照明裝置的光線與相機(jī)鏡頭的主光軸平行。

優(yōu)選方案：所述同軸照明裝置的光線射出端設(shè)有物鏡，所述物鏡用于放大FPD基板上電路線條，提高圖像采集裝置的圖像清晰度。

優(yōu)選方案：所述暗場(chǎng)照明裝置套設(shè)在物鏡的外圓上，暗場(chǎng)照明裝置為物鏡提供設(shè)定角度的暗場(chǎng)光線。

優(yōu)選方案：所述系統(tǒng)還包括：控制所述同軸照明裝置和暗場(chǎng)照明裝置的光源控制裝置，所述光源控制裝置分別與同軸照明裝置和暗場(chǎng)照明裝置電連接，所述光源控制裝置用于控制同軸照明裝置和暗場(chǎng)照明裝置的工作狀態(tài)。

優(yōu)選方案：所述相機(jī)為線陣CCD相機(jī)或矩陣CCD相機(jī)。

本發(fā)明的另一方面還提供了一種檢測(cè)FPD基板的成像方法，所述方法包括以下步驟：

把待檢測(cè)的FPD基板放置在圖像采集裝置的圖像采集區(qū)域的范圍內(nèi)；

打開同軸照明裝置的光源，凸顯FPD基板電路線條的方位特征；