[發(fā)明專利]一種檢測FPD基板的成像系統(tǒng)及方法

有效

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• 申請日: 2019-05-27
• 公開（公告）號: CN110132999B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設計）人: 李波;曾耀
• 申請（專利權）人: 武漢中導光電設備有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/88
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 張凱

1.一種檢測FPD基板的成像系統(tǒng)，其特征在于，其包括：

同軸照明裝置(4)，所述同軸照明裝置(4)用于凸顯FPD基板(7)上電路線條的方位特征；

圖像采集裝置(1)，其用于采集被凸顯電路線條方位特征的FPD基板(7)的第一圖像；

暗場照明裝置(3)，所述暗場照明裝置(3)用于凸顯FPD基板(7)上電路線條的缺陷特征；

圖像處理裝置(5)，其用于根據(jù)第一圖像確定電路線條的角度，并且根據(jù)電路線條的角度把FPD基板(7)劃分出不同的特征區(qū)域；同時，

所述圖像采集裝置(1)還用于逐個采集被凸顯FPD電路線條缺陷特征的所有所述特征區(qū)域的第二圖像；所述圖像處理裝置(5)還用于獲取所有第二圖像后進行缺陷特征識別，且對有缺陷特征的圖像進行定位；

所述系統(tǒng)還包括：

控制所述同軸照明裝置(4)和暗場照明裝置(3)的光源控制裝置(6)，所述光源控制裝置(6)分別與同軸照明裝置(4)和暗場照明裝置(3)電連接，所述光源控制裝置(6)用于控制同軸照明裝置(4)和暗場照明裝置(3)的工作狀態(tài)；

打開暗場照明裝置(3)的光源具體方式為：

計算暗場照明裝置(3)的光源角度與電路線條的角度之間的差值的絕對值A，打開滿足45≤A≤90角度的暗場光源。

2.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：

所述圖像采集裝置(1)為相機，所述同軸照明裝置(4)連接在相機的鏡頭上，所述同軸照明裝置(4)的光線與相機鏡頭的主光軸平行。

3.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：

所述同軸照明裝置(4)的光線射出端設有物鏡(2)，所述物鏡(2)用于放大FPD基板(7)上電路線條，提高圖像采集裝置(1)的圖像清晰度。

4.如權利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于：

所述暗場照明裝置(3)套設在物鏡(2)的外圓上，暗場照明裝置(3)為物鏡(2)提供設定角度的暗場光線。

5.如權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述相機為線陣CCD相機或矩陣CCD相機。

6.一種檢測FPD基板的成像方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

把待檢測的FPD基板(7)放置在圖像采集裝置(1)的圖像采集區(qū)域的范圍內(nèi)；

打開同軸照明裝置(4)的光源，凸顯FPD基板(7)電路線條的方位特征；

圖像采集裝置(1)采集被凸顯電路線條方位特征的FPD基板(7)的第一圖像；

圖像處理裝置(5)根據(jù)第一圖像確定電路線條的角度，并且根據(jù)電路線條的角度把FPD基板(7)劃分出不同的特征區(qū)域；

關閉同軸照明裝置(4)的光源，打開暗場照明裝置(3)的光源，凸顯FPD基板(7)上電路線條的缺陷特征，所述打開暗場照明裝置(3)的光源具體方式為：

計算暗場照明裝置(3)的光源角度與電路線條的角度之間的差值的絕對值A，打開滿足45≤A≤90角度的暗場光源；

圖像采集裝置(1)逐個采集被凸顯FPD電路線條缺陷特征的所有特征區(qū)域的第二圖像；

圖像處理裝置(5)獲取所有第二圖像后進行缺陷特征識別，且對有缺陷特征的圖像進行定位。

7.如權利要求6所述的一種檢測FPD基板的成像方法，其特征在于：所述缺陷特征為線條斷裂、缺口、線條邊緣凸起、線條孔洞、非線條區(qū)堆積中的一種或多種。