[發明專利]正型感光性組合物、薄膜晶體管及化合物

在審

• 申請號: 201910444673.9
• 申請日: 2013-07-02
• 公開（公告）號: CN110209014A
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 井手正仁;稻成浩史;北島亞紀;田原孔明;真鍋貴雄
• 申請（專利權）人: 株式會社鐘化
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/039;H01L23/29;H01L29/51;H01L29/786
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 沈雪

1.一種正型感光性組合物，其包含：

(G)具有下述式(X1)或式(X2)所示結構的化合物、

(H)具有在酸存在下發生分解而顯現酸性基團或羥基的結構的化合物、以及

(D)光產酸劑，

2.根據權利要求1所述的正型感光性組合物，其中，

所述成分(H)為一個分子中包含SiH基的化合物，其具有在酸存在下發生分解而顯現酸性基團或羥基的結構。

3.根據權利要求1或2所述的正型感光性組合物，其中，

在所述成分(H)中，在酸存在下發生分解而顯現酸性基團或羥基的結構是進行了官能團保護的酚結構、或進行了官能團保護的羧酸結構。

4.根據權利要求3所述的正型感光性組合物，其中，

所述進行了官能團保護的酚結構為進行了官能團保護的雙酚結構。

5.根據權利要求4所述的正型感光性組合物，其中，

所述進行了官能團保護的雙酚結構是用三烷基甲硅烷基或丁氧基羰基進行了官能團保護的雙酚結構。

6.根據權利要求3所述的正型感光性組合物，其中，

所述進行了官能團保護的羧酸結構為包含縮醛鍵的結構、或者包含羧酸叔酯鍵的結構。

7.根據權利要求6所述的正型感光性組合物，其中，

所述包含羧酸叔酯鍵的結構是用脂肪族環結構進行了保護的羧酸叔酯結構。

8.根據權利要求7所述的正型感光性組合物，其中，

所述脂肪族環結構為金剛烷結構。

9.根據權利要求1或2所述的正型感光性組合物，其中，

所述成分(H)具有雙酚結構。

10.根據權利要求9所述的正型感光性組合物，其中，

所述雙酚結構為雙酚S結構或雙酚F結構。

11.根據權利要求1、2、4～8及10中任一項所述的正型感光性組合物，其中，

所述(D)成分為碘鎓鹽或锍鹽。

12.根據權利要求1、2、4～8及10中任一項所述的正型感光性組合物，其還包含(I)堿可溶性成分。

13.根據權利要求12所述的正型感光性組合物，其中，

所述成分(I)為包含SiH基或烯基的化合物。

14.根據權利要求12所述的正型感光性組合物，其中，

所述成分(I)為包含下述式(X1)或式(X2)所示結構的化合物，

15.根據權利要求1、2、4～8、10、13及14中任一項所述的正型感光性組合物，其還包含化合物(J)，所述化合物(J)包含烯基、且不具有在酸存在下發生分解而顯現酸性基團或羥基的結構。

16.根據權利要求1、2、4～8、10、13及14中任一項所述的正型感光性組合物，其還包含敏化劑(K)。

17.一種薄膜晶體管，其具備使權利要求1～16中任一項所述的正型感光性組合物固化而得到的薄膜作為柵極絕緣膜。

18.一種薄膜晶體管，其具備使權利要求1～16中任一項所述的正型感光性組合物固化而得到的薄膜作為鈍化膜。