[發(fā)明專利]鍍膜機散熱系統(tǒng)的清洗裝置及清洗方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910406501.2
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN110129760A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄧榮斌;王光華;段良飛;張麗娟;高思博;馬興民;段堯;魯朝宇;季華夏
• 申請（專利權(quán)）人: 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/30;C23C16/44;C23G1/02;C23G1/14;C23G3/00
• 代理公司: 昆明祥和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 53114
• 代理人: 張亦凡

本發(fā)明涉及鍍膜機散熱系統(tǒng)的清洗裝置及其清洗方法，其特征在于該裝置由進(jìn)液清洗系統(tǒng)和循環(huán)再清洗系統(tǒng)組成，并根據(jù)該裝置針對不同的鍍膜設(shè)備提出了具體的清洗方法。本發(fā)明的清洗裝置，具備流量恒定、流速平穩(wěn)的特點，采用本裝置及提供的清洗方法對鍍膜設(shè)備進(jìn)行清洗，控制精度提高，被清洗管道的使用壽命得到有效延長。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，特別是一種應(yīng)用于鍍膜機散熱系統(tǒng)的清洗裝置及其清洗方法。

背景技術(shù)

真空鍍膜技術(shù)是當(dāng)下應(yīng)用非常廣的膜層制備技術(shù)，特別在半導(dǎo)體行業(yè)，很多高端產(chǎn)品應(yīng)用真空鍍膜技術(shù)制造。不論采用物理氣相沉積還是化學(xué)氣相沉積，真空鍍膜設(shè)備是決定膜層質(zhì)量的關(guān)鍵，這些設(shè)備對運行保障的條件要求甚高，散熱是其高效運行的基礎(chǔ)，例如：處于高溫高電壓下的電子槍需要散熱排除溫度對磁場的干擾，消除退磁隱患，防止坩堝被擊穿；膜厚監(jiān)測系統(tǒng)需散熱確保晶振片處于恒定的低溫工作環(huán)境，提高膜層監(jiān)測厚度的準(zhǔn)確性；低溫泵系統(tǒng)需散熱將氦氣保持在極低的工作溫度，使工作真空處于恒定狀態(tài)。另外，散熱也是工藝穩(wěn)定運行的保障，尤其對于鍍制多種材料的鍍膜系統(tǒng)，需散熱提高各膜層材料的工藝重復(fù)性，將環(huán)境溫度的影響降到最低。最后，散熱也是安全生產(chǎn)的前提，優(yōu)越的散熱性能可減少生產(chǎn)事故，確保人機安全。

在工業(yè)生產(chǎn)中，為降低成本，鍍膜機散熱多采用水冷，部分溶解于水中的氣體、微粒等也會隨冷卻水在散熱管道內(nèi)循環(huán)，長時間運行勢必會腐蝕、堵塞散熱管道。因此，定期清洗散熱系統(tǒng)是設(shè)備和工藝正常運行的重要保證。

發(fā)明內(nèi)容

基于鍍膜機散熱系統(tǒng)清洗的必要性，本發(fā)明提出一種鍍膜機散熱系統(tǒng)的清洗裝置及其清洗方法。

本發(fā)明的鍍膜機散熱系統(tǒng)的清洗裝置，其特征在于該裝置由進(jìn)液清洗系統(tǒng)和循環(huán)再清洗系統(tǒng)組成，其中：

所述進(jìn)液清洗系統(tǒng)，包括相互連通的加壓電機和進(jìn)液主管道，進(jìn)液主管道上安裝若干進(jìn)液閥門，進(jìn)液閥門上設(shè)置有轉(zhuǎn)換接頭，通過轉(zhuǎn)換接頭與各清洗管道分支連接；

所述循環(huán)再清洗系統(tǒng)，包括相互連通的儲液罐和回液主管道，儲液罐與加壓電機通過循環(huán)管道連接，所述循環(huán)管道上設(shè)置有循環(huán)閥門；回液主管道上安裝若干回液閥門，回液閥門上設(shè)置有轉(zhuǎn)換接頭，通過轉(zhuǎn)換接頭與各清洗管道分支連接。

為避免交叉污染和清洗安全，所述的儲液罐采用可拆卸式設(shè)計；儲液罐外設(shè)置有水浴鍋，用于為儲液罐加熱或降溫，隔絕加熱源、酸和堿。

所述的進(jìn)液閥門、回液閥門及循環(huán)閥門采用SMC電磁閥。

所述的加壓電機、進(jìn)液閥門、回液閥門及循環(huán)閥門與上位機連接，實現(xiàn)智能控制。在工作狀態(tài)下，上位機設(shè)定匹配的清洗參數(shù)包括進(jìn)入加壓電機的清洗液溫度和壓力、各清洗管道分支的流速和清洗時間等，上位機根據(jù)設(shè)定的清洗參數(shù)及智能控制閥的反饋，自動調(diào)整各清洗管道分支的清洗狀態(tài)。

鍍膜價格昂貴，系統(tǒng)復(fù)雜，清洗本身還得評估清洗過程可能帶來的腐蝕和污染，根據(jù)不同管道分析其雜質(zhì)成分，匹配相應(yīng)的清洗液組合，能在完成清洗的同時，又不讓設(shè)備清洗后工作狀態(tài)受到干擾。清洗遵循酸堿平衡的原則，清洗液本身不能成為污染源，所以選擇在儲液罐中加入純水→酸→堿→純水的組合方式，酸、堿選擇弱酸、弱堿、中強酸、中強堿或者高度稀釋的濃酸濃堿，酸、堿的稀釋比、加熱溫度和用量根據(jù)具體的清洗劑和清洗管道而定。