[發明專利]搬運系統

在審

• 申請號: 201910406302.1
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN110504200A
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 關家一馬
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 11127 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉<國際申請>=<國際公布>

1.一種搬運系統，其對多個加工裝置分別搬運被加工物，其特征在于，該搬運系統包含：

搬運通路，其在多個該加工裝置的整個范圍內設置于該加工裝置的正上方的空間；

無人被加工物搬運車，其在該搬運通路上行駛，具有被加工物支承部、行駛機構以及接收機，其中，該被加工物支承部對該被加工物進行支承，該行駛機構設置于該被加工物支承部，該接收機接收控制信號；

貯存單元，其具有被加工物搬運部和接收機，其中，該被加工物搬運部在收納向該加工裝置提供的該被加工物的被加工物貯存器與該無人被加工物搬運車之間對該被加工物進行搬運，該接收機接收控制信號；以及

控制單元，其具有發送機、接收機以及控制信號生成部，其中，該發送機對該加工裝置、該無人被加工物搬運車以及該貯存單元發送控制信號，該接收機接收從該加工裝置發送的通知信號，該控制信號生成部生成從該發送機發送的控制信號，

該控制單元的該控制信號生成部根據該控制單元的該接收機所接收到的通知信號，生成從該控制單元的該發送機發送的控制信號，

該控制單元的該發送機將由該控制單元的該控制信號生成部生成的控制信號發送至該加工裝置、該無人被加工物搬運車以及該貯存單元，

該貯存單元的該被加工物搬運部根據該貯存單元的該接收機所接收到的控制信號，將收納于該被加工物貯存器的該被加工物搬運至該無人被加工物搬運車的該被加工物支承部，

該無人被加工物搬運車的該行駛機構根據該無人被加工物搬運車的該接收機所接收到的控制信號，使該無人被加工物搬運車在該搬運通路上行駛，將該被加工物支承部所支承的該被加工物搬運至該加工裝置。

2.根據權利要求1所述的搬運系統，其特征在于，

該搬運通路設置于該加工裝置的上表面。

3.根據權利要求1或2所述的搬運系統，其特征在于，

該搬運通路是將多個通路模塊連結起來而構成的。

4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的搬運系統，其特征在于，

該搬運通路具有腳部，該腳部具有對該加工裝置進行吸附的吸附部，該搬運通路通過該吸附部而固定于該加工裝置。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的搬運系統，其特征在于，

該加工裝置在側面具有連接配管的配管連接部或維護用的門。

6.根據權利要求1～5中的任意一項所述的搬運系統，其特征在于，

該搬運系統還具有無人刀具搬運車，該無人刀具搬運車在該搬運通路上行駛，具有：刀具支承部，其對切削刀具進行支承，該切削刀具在利用該加工裝置對該被加工物進行加工時使用；行駛機構，其設置于該刀具支承部；以及接收機，其接收控制信號，

該貯存單元還具有刀具搬運部，該刀具搬運部在收納向該加工裝置提供的該切削刀具的刀具貯存器與該無人刀具搬運車之間對該切削刀具進行搬運，

該控制單元的該發送機還具有向該無人刀具搬運車發送控制信號的功能，

該控制單元的該發送機將由該控制單元的該控制信號生成部生成的控制信號發送至該加工裝置、該無人被加工物搬運車、該無人刀具搬運車以及該貯存單元，

該貯存單元的該刀具搬運部根據該貯存單元的該接收機所接收到的控制信號，將收納于該刀具貯存器的該切削刀具搬運至該無人刀具搬運車的該刀具支承部，

該無人刀具搬運車的該行駛機構根據該無人刀具搬運車的該接收機所接收到的控制信號，使該無人刀具搬運車在該搬運通路上行駛，將該刀具支承部所支承的該切削刀具搬運至該加工裝置。