[發明專利]一種N型選擇性發射極太陽能電池及其制造方法

在審

• 申請號: 201910393610.5
• 申請日: 2019-05-13
• 公開（公告）號: CN110098284A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 陳周;單偉;何勝;周盛永;黃海燕;陸川
• 申請（專利權）人: 浙江正泰太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0216;H01L21/223
• 代理公司: 北京元合聯合知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11653
• 代理人: 李非非;楊興宇

本發明提供了一種N型選擇性發射極太陽能電池的制造方法，該制造方法包括：提供N型襯底，并在該N型襯底的表面形成絨面結構；對N型襯底的正面進行擴散以形成P++擴散層；去除N型襯底非電極區域內一定厚度的P++擴散層，以在N型襯底的電極區域內形成P++摻雜區以及在非電極區域內形成P+摻雜區；在N型襯底的背面形成N++摻雜層；在N型襯底的正面從下至上形成鈍化層和第一減反射層、以及在N型襯底的背面形成第二減反射層；在N型襯底的正面和背面分別形成正面電極和背面電極，其中，正面電極透過第一減反射層和鈍化層與P++摻雜區形成歐姆接觸，背面電極透過第二減反射層與N++摻雜層形成歐姆接觸。本發明還提供了一種N型選擇性發射極太陽能電池。

技術領域

本發明涉及光伏技術領域，尤其涉及一種N型選擇性發射極太陽能電池及其制造方法。

背景技術

現有技術中，用于形成太陽能電池的襯底主要包括N型和P型。其中，由于N型襯底比P型襯底具有更長的少子壽命，因此N型襯底的光衰減性能更為穩定。相應地，基于N型襯底所形成太陽能電池(即N型太陽能電池)與基于P型襯底所形成的太陽能電池(即P型太陽能電池)相比具有更大的優勢。此外，選擇性發射極太陽能電池相較于常規太陽能電池來說，可以更進一步提升電池效率。基于此，越來越多的太陽能電池廠商開始對N型選擇性發射極太陽能電池進行研究。

請參考圖1，圖1是現有技術中N型選擇性發射極太陽能電池的剖面結構示意圖。如圖所示，現有的N型選擇性發射極太陽能電池從上至下依次包括正面電極106、正面減反射層103、鈍化層102、選擇性發射極、N型襯底100、N++摻雜層104、背面減反射層105以及背面電極107。選擇性發射極進一步包括P++摻雜區101b和P+摻雜區101a，其中，P++摻雜區101b和P+摻雜區101a中的摻雜通常均為硼摻雜，P++摻雜區101b的方阻低于P+摻雜區101a的方阻。P++摻雜區分布在正面電極106的下方，P+摻雜區101a分布在P++摻雜區101b之間。P++摻雜區101b和P+摻雜區101a的擴散結深相同、且P++摻雜區101b的上表面和P+摻雜區101a的上表面齊平。正面電極106透過正面減反射層103和鈍化層102與P++摻雜區101b形成歐姆接觸，背面電極107透過背面減反射層105與N++摻雜層104形成歐姆接觸。

上述N型選擇性發射極太陽能電池其選擇性發射極主要通過硼漿印刷或激光摻雜的方式形成。

硼漿摻雜方式的實現過程如下：首先在N型襯底的正面進行硼擴散，然后在N型襯底正面與正面電極相對應的區域內印刷含硼的漿料，接著經過高溫退火和硼漿清洗，如此一來，在N型襯底正面與正面電極相對應的區域內形成P++摻雜區、以及在N型襯底正面的其他區域內形成P+摻雜區。這種方式所形成的N型選擇性發射極太陽能電池的缺陷在于：(1)硼漿價格昂貴導致所形成的N型選擇性發射極太陽能電池的成本也相對昂貴；(2)需要配備退火設備，進一步增加N型選擇性發射極太陽能電池的成本；(3)硼漿摻雜方式容易對電池造成污染進而影響N型選擇性發射極太陽能電池的性能。也就是說，采用硼漿印刷方式所形成的N型選擇性發射極太陽能電池存在成本較高、性能不佳的問題。