[發明專利]一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備

有效

• 申請號: 201910378573.0
• 申請日: 2019-05-08
• 公開（公告）號: CN110211898B
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 陳科
• 申請（專利權）人: 常州市工業互聯網研究院有限公司;常州天正工業發展股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備，包括主體、傳輸裝置、檢測裝置、移動裝置、氣泵、氣管和吸嘴，還包括除靜電機構和兩個固定機構，所述除靜電機構包括抽氣泵、連通管、連接管、離子發生器、儲氣盒和噴氣組件，所述噴氣組件包括驅動單元、連桿和兩個噴氣單元，所述噴氣單元包括噴嘴和軟管，所述固定機構包括固定盒，所述固定盒內設有固定組件，所述固定組件包括移動板、移動桿、固定板和兩個動力單元，該具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備通過除靜電機構，可以對芯片進行除靜電工作，避免靜電對芯片造成的損傷，提高了芯片的質量，通過固定機構，可以對吸嘴進行固定工作，避免吸嘴與氣管脫離，影響分揀工作。

技術領域

本發明涉及芯片分揀領域，特別涉及一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備。

背景技術

半導體芯片是將不同尺寸的晶片切斷成所定大小，為了不使得切斷時切斷的半導體芯片零亂,晶片在背面粘接具有粘接性的保持帶,由晶片切斷裝置等從表面側切斷晶片，此時,粘接在背面的保持帶雖然被切入若干,但沒有被切斷,成為保持各半導體芯片的狀態，從保持帶上取下芯片放置到后續裝配的芯片載體中，這個過程稱為芯片的分揀，分揀將安裝電性能將芯片分為合格品與不合格品或分為不同的等級。

現有的芯片分揀設備在長期工作后，吸嘴容易老化，使得吸嘴與氣管連接不穩定，在吸嘴吸附芯片且帶動芯片移動時，移動速度一般較快，導致吸嘴容易與氣管發生脫離，從而影響分揀工作，不僅如此，芯片分揀設備在工作時，容易產生靜電，靜電容易損傷芯片，降低芯片的成品率，從而大大降低了設備的實用性。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了克服現有技術的不足，提供一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備，包括主體、傳輸裝置、檢測裝置、移動裝置、氣泵、氣管和吸嘴，所述主體的兩側分別設有進料口和出料口，所述傳輸裝置的兩端分別穿過進料口和出料口設置在主體的內部，所述移動裝置和檢測裝置均設置在主體的上方，所述氣泵設置在移動裝置的下方，所述氣泵通過氣管與吸嘴連通，所述主體內設有PLC，還包括除靜電機構和兩個固定機構，所述除靜電機構設置在吸嘴的靠近進料口的一側，所述除靜電機構設置在傳輸裝置的上方，兩個固定機構關于氣管的軸線對稱設置；

所述除靜電機構包括抽氣泵、連通管、連接管、離子發生器、儲氣盒和噴氣組件，所述抽氣泵和離子發生器均與主體固定連接，所述抽氣泵通過連通管與離子發生器連通，所述儲氣盒與主體的內壁固定連接，所述儲氣盒通過連接管與離子發生器連通，所述噴氣組件設置在儲氣盒的下方；

所述噴氣組件包括驅動單元、連桿和兩個噴氣單元，所述驅動單元設置在主體的靠近離子發生器的一側的內壁上，所述連桿的兩端分別與兩個噴氣單元連接，所述驅動單元與靠近離子發生器的一個噴氣單元連接；

所述噴氣單元包括噴嘴和軟管，所述連桿的兩端分別與兩個噴嘴固定連接，所述噴嘴通過軟管與儲氣盒連通，兩個噴嘴中，靠近離子發生器的一個噴嘴與驅動單元連接；

所述固定機構包括固定盒，所述固定盒與氣管固定連接，所述固定盒設置在氣泵與吸嘴之間，所述固定盒的遠離氣管的一側設有開口，所述固定盒內設有固定組件，所述固定組件包括移動板、移動桿、固定板和兩個動力單元；

所述移動板的一側與移動桿的一端固定連接，所述移動桿的另一端穿過開口與固定板固定連接，所述固定板與吸嘴抵靠，兩個動力單元分別設置在固定盒內的頂部和底部，所述動力單元與移動板的另一側連接。

作為優選，為了限制連桿的移動方向，所述噴氣組件還包括限位環和支撐桿，所述限位環通過支撐桿固定在儲氣盒的下方，所述連桿穿過限位環，所述連桿與限位環同軸設置。

作為優選，為了避免連桿發生轉動，所述限位環的內圈設有滑塊，所述連桿上設有凹槽，所述滑塊與凹槽匹配，所述滑塊設置在凹槽的內部，所述滑塊與凹槽滑動連接。