[發明專利]一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備有效
| 申請號: | 201910378573.0 | 申請日: | 2019-05-08 |
| 公開(公告)號: | CN110211898B | 公開(公告)日: | 2021-06-04 |
| 發明(設計)人: | 陳科 | 申請(專利權)人: | 常州市工業互聯網研究院有限公司;常州天正工業發展股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 213000 江蘇省常州市武進區常武中路*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 具有 靜電 功能 穩定 芯片 分揀 設備 | ||
1.一種具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備,包括主體(1)、傳輸裝置(2)、檢測裝置(3)、移動裝置(4)、氣泵(5)、氣管(6)和吸嘴(7),所述主體(1)的兩側分別設有進料口和出料口,所述傳輸裝置(2)的兩端分別穿過進料口和出料口設置在主體(1)的內部,所述移動裝置(4)和檢測裝置(3)均設置在主體(1)的上方,所述氣泵(5)設置在移動裝置(4)的下方,所述氣泵(5)通過氣管(6)與吸嘴(7)連通,所述主體(1)內設有PLC,其特征在于,還包括除靜電機構和兩個固定機構,所述除靜電機構設置在吸嘴(7)的靠近進料口的一側,所述除靜電機構設置在傳輸裝置(2)的上方,兩個固定機構關于氣管(6)的軸線對稱設置;
所述除靜電機構包括抽氣泵(20)、連通管(21)、連接管(23)、離子發生器(22)、儲氣盒(24)和噴氣組件,所述抽氣泵(20)和離子發生器(22)均與主體(1)固定連接,所述抽氣泵(20)通過連通管(21)與離子發生器(22)連通,所述儲氣盒(24)與主體(1)的內壁固定連接,所述儲氣盒(24)通過連接管(23)與離子發生器(22)連通,所述噴氣組件設置在儲氣盒(24)的下方;
所述噴氣組件包括驅動單元、連桿(31)和兩個噴氣單元,所述驅動單元設置在主體(1)的靠近離子發生器(22)的一側的內壁上,所述連桿(31)的兩端分別與兩個噴氣單元連接,所述驅動單元與靠近離子發生器(22)的一個噴氣單元連接;
所述噴氣單元包括噴嘴(29)和軟管(30),所述連桿(31)的兩端分別與兩個噴嘴(29)固定連接,所述噴嘴(29)通過軟管(30)與儲氣盒(24)連通,兩個噴嘴(29)中,靠近離子發生器(22)的一個噴嘴(29)與驅動單元連接;
所述固定機構包括固定盒(8),所述固定盒(8)與氣管(6)固定連接,所述固定盒(8)設置在氣泵(5)與吸嘴(7)之間,所述固定盒(8)的遠離氣管(6)的一側設有開口,所述固定盒(8)內設有固定組件,所述固定組件包括移動板(13)、移動桿(14)、固定板(15)和兩個動力單元;
所述移動板(13)的一側與移動桿(14)的一端固定連接,所述移動桿(14)的另一端穿過開口與固定板(15)固定連接,所述固定板(15)與吸嘴(7)抵靠,兩個動力單元分別設置在固定盒(8)內的頂部和底部,所述動力單元與移動板(13)的另一側連接。
2.如權利要求1所述的具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備,其特征在于,所述噴氣組件還包括限位環(32)和支撐桿,所述限位環(32)通過支撐桿固定在儲氣盒(24)的下方,所述連桿(31)穿過限位環(32),所述連桿(31)與限位環(32)同軸設置。
3.如權利要求2所述的具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備,其特征在于,所述限位環(32)的內圈設有滑塊(33),所述連桿(31)上設有凹槽,所述滑塊(33)與凹槽匹配,所述滑塊(33)設置在凹槽的內部,所述滑塊(33)與凹槽滑動連接。
4.如權利要求1所述的具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備,其特征在于,所述驅動單元包括第一電機(25)、轉桿(26)、擺動桿(27)和連接軸(28),所述第一電機(25)固定在主體(1)的靠近離子發生器(22)的一側的內壁上,所述第一電機(25)與轉桿(26)的一端傳動連接,所述轉桿(26)的另一端通過擺動桿(27)與連接軸(28)的一端鉸接,所述連接軸(28)的另一端與靠近第一電機(25)的一個噴嘴(29)固定連接,所述第一電機(25)與PLC電連接。
5.如權利要求1所述的具有除靜電功能的穩定型芯片分揀設備,其特征在于,所述動力單元包括第二電機(9)、轉盤(10)、拉線(11)和彈簧(12),兩個第二電機(9)分別固定在固定盒(8)內的頂部和底部,所述第二電機(9)與轉盤(10)傳動連接,所述拉線(11)的一端纏繞在轉盤(10)上,所述拉線(11)的另一端與移動板(13)的遠離移動桿(14)的一側固定連接,所述彈簧(12)的兩端分別與移動板(13)的靠近移動桿(14)的一側和固定盒(8)的靠近開口的一側的內壁連接,所述彈簧(12)處于拉伸狀態,所述第二電機(9)與PLC電連接。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





