[發明專利]一種激光二極管測試設備在審
| 申請號: | 201910375127.4 | 申請日: | 2019-05-07 |
| 公開(公告)號: | CN110057553A | 公開(公告)日: | 2019-07-26 |
| 發明(設計)人: | 王勝利;楊波 | 申請(專利權)人: | 深圳市矽電半導體設備有限公司 |
| 主分類號: | G01M11/02 | 分類號: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518172 廣東省深圳市龍崗區龍城街*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 激光二極管 測試 芯粒 測試設備 上料 傳輸 收料部 | ||
1.一種激光二極管測試設備,其特征在于:所述激光二極管測試設備(100)包括,
機架(20);
上料部(30),安裝于機架(20);所述上料部(30)用于放置待測激光二極管芯粒;
傳料部(40),安裝于機架(20);所述傳料部(40)用于將激光二極管芯粒傳輸到預定的位置;
第一測試部(50),安裝于機架(20);所述傳料部(40)能夠將激光二極管芯粒從上料部(30)傳輸到所述第一測試部(50),所述第一測試部(50)對激光二極管芯粒進行測試;
第二測試部(60),安裝于機架(20);所述傳料部(40)能夠將激光二極管芯粒從第一測試部(50)傳輸到第二測試部(60),所述第二測試部(60)對激光二極管芯粒進行測試;
收料部(70),安裝于機架(20);所述傳料部(40)能夠將第二測試部(60)上的激光二極管芯粒傳輸到收料部(70)。
2.根據權利要求1所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述上料部(30)、第一測試部(50)、第二測試部(60)和收料部(70)沿第一直線依次排布。
3.根據權利要求1所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述第一測試部(50)為常溫測試結構;所述第二測試部(60)為高溫測試結構。
4.根據權利要求2或3所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
傳料部(40)包括第一支撐部(41)和第一取料部(42),所述第一支撐部(41)連接于機架(20),所述第一取料部(42)通過滑軌水平連接于第一支撐部(41);所述第一取料部(42)能夠用于取放芯粒。
5.根據權利要求2或3所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述第一測試部(50)包括,
測試承載部(51),連接于機架(20),用于放置待測試的芯粒;
第一探針部(52),連接于機架(20),用于對放置于測試承載部(51)的芯粒電連接;
后端光功率測試部(53),連接于機架(20),用于測試芯粒后端的發光光功率;
第一前端光功率測試部(54),連接于機架(20),用于測試芯粒的前端發光光功率;
光波長測試部(55),連接于于機架(20),用于測試芯粒的前端發光波長。
6.根據權利要求5所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述測試承載部(51)設置有連接真空的吸附孔,待測試芯粒通過所述吸附孔真空吸附于測試承載部(51)。
7.根據權利要求6所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述測試承載部(51)包括加熱部和溫度感應部,所述加熱部調節溫度使待測試的芯粒處于預設的溫度環境,所述溫度感應部用于檢測待測芯粒所處環境的溫度。
8.根據權利要求5所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述第一前端光功率測試部(54)和光波長測試部(55)均通過滑動安裝部(56)連接于機架(20)。
9.根據權利要求5所述的激光二極管測試設備,其特征在于:
所述第一探針部(52)和后端光功率測試部(53)均通過運動安裝部(57)連接于機架(20)。
10.根據權利要求9所述的激光二極管測試設備,其特征在于:所述運動安裝部(57)通過豎向滑軌連接于機架(20);
驅動電機固定于機架(20),所述驅動電機連接有凸輪,所述凸輪止抵于運動安裝部(57)下端。
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