[發明專利]光刻膠

有效

• 申請號: 201910372874.2
• 申請日: 2019-05-06
• 公開（公告）號: CN110174819B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 饒夙締;陳孝賢
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;程曉

1.一種光刻膠，其特征在于，包括樹脂、光引發劑、聚合物單體、溶劑以及光反應粒子；

所述光引發劑在光照下產生自由基，用于引發聚合物單體發生光交聯固化反應形成高聚物；

所述光反應粒子根據光的波長對光進行選擇性吸收并釋放出抗氧化劑，用于捕捉光引發劑在光照下產生的自由基，從而降低聚合物單體的反應程度；

所述光反應粒子為核殼結構，包括外殼及由外殼包覆的內核，所述外殼為光反應聚合物，所述內核為抗氧化劑，所述光反應粒子的外殼對光進行選擇性吸收并發生反應而裂解，從而釋放出內核的抗氧化劑。

2.如權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，所述光反應粒子所吸收的光的波長為300-400nm。

3.如權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，所述抗氧化劑為酚類抗氧化劑或胺類抗氧化劑。

4.如權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，所述光反應粒子的粒徑為50-500nm。

5.如權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，所述樹脂為堿溶性樹脂、熱固型樹脂或光固型樹脂；

所述聚合物單體為自由基型單體、陽離子型單體或兩者的組合；

所述光引發劑為自由基型光引發劑、陽離子型光引發劑或兩者的組合；

所述溶劑為有機溶劑或水性溶劑。

6.如權利要求5所述的光刻膠，其特征在于，所述樹脂為酚醛樹脂、丙烯酸樹脂、聚乙烯醇肉桂酸酯及硅氧烷樹脂中的一種或多種組合；

所述聚合物單體為丙烯酸酯類單體、乙烯基類單體、乙烯基醚類單體及環氧類單體中的一種或多種組合；

所述光引發劑為酮肟脂類光引發劑、a-胺基酮類光引發劑、苯乙酮系光引發劑及芳香酮類光引發劑中的一種或多種組合；

所述溶劑包括脂肪醇、乙二醇醚、乙酸乙酯、乙酸丁酯、甲乙酮、甲基異丁基酮、單甲基醚乙二醇酯、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯、環已酮、二甲苯、甲基吡咯烷酮中的一種或多種。

7.如權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，還包括添加劑及著色劑，所述添加劑為表面活性劑、硅烷偶聯劑及消泡劑中的一種或多種組合，所述著色劑為顏料、染料或兩者的組合。

8.如權利要求1所述的光刻膠，其特征在于，所述樹脂、光引發劑、聚合物單體、溶劑以及光反應粒子在所述光刻膠中的重量百分含量分別為5-15％、0.2-5％、5-8％、80-90％及0.1-5％，其中，所述樹脂、光引發劑、聚合物單體、溶劑以及光反應粒子在所述光刻膠中的重量百分含量合計為100％。