[發明專利]空氣隔離裝置以及激光干涉檢測設備

有效

• 申請號: 201910372079.3
• 申請日: 2019-05-06
• 公開（公告）號: CN110030949B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 王全召;韓森;盧慶杰;王芳
• 申請（專利權）人: 蘇州慧利儀器有限責任公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/02
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉;劉國華

本發明提供了一種空氣隔離裝置以及包含該空氣隔離裝置的激光干涉檢測設備。本發明的空氣隔離裝置包括：以套接的方式相連接并且能夠相對移動的第一罩筒和第二罩筒；以及用于引導第一罩筒和第二罩筒相對移動的導向支撐部，其中，導向支撐部包含至少兩條滑軌、與該至少兩條滑軌分別對應的至少兩個導向支撐臂、以及用于把至少兩條滑軌分別安裝在至少兩個導向支撐臂上的至少兩個滑動座，至少兩條滑軌設置在第一罩筒的外表面并且均沿該第一罩筒的長度方向布置，至少兩個導向支撐臂設置在第二罩筒的外表面并且均沿該第二罩筒的長度方向布置，導向支撐臂具有與滑軌相匹配的導向槽以及位于該導向槽一端的滑動座安裝槽，滑動座安裝在滑動座安裝槽內。

技術領域

本發明屬于激光干涉檢測設備技術領域，具體涉及一種空氣隔離裝置以及包含該空氣隔離裝置的激光干涉檢測設備。

背景技術

激光干涉檢測設備也稱為激光干涉儀，是利用光干涉技術對例如平晶等光學零件的形貌信息進行測量的設備，廣泛應用于從光學零件的設計加工與檢驗到光學系統的裝調、校正以及測試等過程中。激光干涉檢測設備包括設備主體以及安裝在該設備主體上的參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置。

由于激光干涉檢測設備通常是在敞開的空間內進行測量，在外界振動、溫度以及氣流等環境因素的影響下，難以保證參考平晶和待測平晶之間的測試光路中的空氣在測量過程保持靜止，很容易導致該空氣發生流動而引起折射率的變化，導致檢測結果精度低、不準確。

現有技術中，通常在安裝好參考平晶和待測平晶后，使用紙罩或簾子圍住參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置之間的空間來防止外界氣流的干擾。但是，使用紙罩或簾子圍封方法不僅操作麻煩、效率低，而且隔離作用較小，對于提高檢測結果的精度和準確性的效果也不太明顯。

發明內容

本發明是為了解決上述問題而進行的，目的在于提供一種空氣隔離裝置以及包含該空氣隔離裝置的激光干涉檢測設備，能夠在不阻擋測試光路的基礎上，對參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置之間的空氣進行隔離以阻擋該空氣產生流動，保證該空氣的折射率在測量過程中保持恒定，從而提高檢測的精度和準確性。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

結構一

本發明提供了一種空氣隔離裝置，安裝在激光干涉檢測設備的參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置之間，用于隔離參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置之間的空氣以阻擋該空氣產生流動，其特征在于，包括：以套接的方式相連接并且能夠相對移動的第一罩筒和第二罩筒；以及用于引導第一罩筒和第二罩筒相對移動的導向支撐部，其中，導向支撐部包含至少兩條滑軌、與該至少兩條滑軌分別對應的至少兩個導向支撐臂、以及用于把至少兩條滑軌分別安裝在至少兩個導向支撐臂上的至少兩個滑動座，至少兩條滑軌設置在第一罩筒的外表面并且均沿該第一罩筒的長度方向布置，至少兩個導向支撐臂設置在第二罩筒的外表面并且均沿該第二罩筒的長度方向布置，導向支撐臂具有與滑軌相匹配的導向槽以及位于該導向槽一端的滑動座安裝槽，滑動座安裝在滑動座安裝槽內。

本發明提供的空氣隔離裝置，還可以具有這樣的特征：其中，第一罩筒靠近參考平晶承載裝置設置，第二罩筒靠近待測平晶承載裝置設置，第二罩筒套在第一罩筒上。

本發明提供的空氣隔離裝置，還可以具有這樣的特征：其中，滑軌為兩條，兩個滑軌為對向設置，導向支撐臂為兩個，兩個導向支撐臂為對向設置。

本發明提供的空氣隔離裝置，還可以具有這樣的特征：其中，兩條滑軌設定為主滑軌，兩個導向支撐臂設定為主導向支撐臂，導向支撐部還包含至少一條輔助滑軌以及與該至少一條輔助滑軌分別相對應的至少一個輔助導向支撐臂，輔助滑軌設置在第一罩筒的外表面并且位于兩條主滑軌之間，輔助導向支撐臂設置在第二罩筒的外表面并且位于兩個主導向支撐臂之間，輔助導向支撐臂具有與輔助滑軌相匹配的導向槽。