[發明專利]空氣隔離裝置以及激光干涉檢測設備

有效

• 申請號: 201910372079.3
• 申請日: 2019-05-06
• 公開（公告）號: CN110030949B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 王全召;韓森;盧慶杰;王芳
• 申請（專利權）人: 蘇州慧利儀器有限責任公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/02
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉;劉國華

1.一種空氣隔離裝置，安裝在激光干涉檢測設備的參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置之間，用于隔離所述參考平晶承載裝置和所述待測平晶承載裝置之間的空氣以阻擋該空氣產生流動，其特征在于，包括：

以套接的方式相連接并且能夠相對移動的第一罩筒和第二罩筒；以及

用于引導所述第一罩筒和所述第二罩筒相對移動的導向支撐部，

其中，所述導向支撐部包含至少兩條滑軌、與該至少兩條滑軌分別對應的至少兩個導向支撐臂、以及用于把所述至少兩條滑軌分別安裝在所述至少兩個導向支撐臂上的至少兩個滑動座，

所述至少兩條滑軌設置在所述第一罩筒的外表面并且均沿該第一罩筒的長度方向布置，

所述至少兩個導向支撐臂設置在所述第二罩筒的外表面并且均沿該第二罩筒的長度方向布置，

所述導向支撐臂具有與所述滑軌相匹配的導向槽以及位于該導向槽一端的滑動座安裝槽，所述滑動座安裝在所述滑動座安裝槽內。

2.根據權利要求1所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述第一罩筒靠近所述參考平晶承載裝置設置，

所述第二罩筒靠近所述待測平晶承載裝置設置，

所述第二罩筒套在所述第一罩筒上。

3.根據權利要求2所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述滑軌為兩條，兩個所述滑軌為對向設置，

所述導向支撐臂為兩個，兩個所述導向支撐臂為對向設置。

4.根據權利要求3所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，兩條所述滑軌設定為主滑軌，兩個所述導向支撐臂設定為主導向支撐臂，

所述導向支撐部還包含至少一條輔助滑軌以及與該至少一條輔助滑軌分別相對應的至少一個輔助導向支撐臂，

所述輔助滑軌設置在所述第一罩筒的外表面并且位于兩條所述主滑軌之間，

所述輔助導向支撐臂設置在所述第二罩筒的外表面并且位于兩個所述主導向支撐臂之間，

所述輔助導向支撐臂具有與所述輔助滑軌相匹配的導向槽。

5.根據權利要求4所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述輔助滑軌靠近所述第二罩筒的一端外側設置有滑軌限位突起，

所述輔助導向支撐臂的所述導向槽靠近所述第一罩筒的一端設置有與所述滑軌限位突起相對應的導向槽限位突起，用于阻止所述輔助滑軌從對應的所述導向槽中滑脫出來。

6.根據權利要求4所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述輔助導向支撐臂上還設置有鎖緊定位件，用于對對應的所述輔助滑軌進行鎖緊定位。

7.根據權利要求1所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述第一罩筒遠離所述第二罩筒的一端設置有移動圈，

所述移動圈的邊緣具有至少兩個把手。

8.根據權利要求1所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述第二罩筒的兩端分別設置有支撐圈和安裝圈。

9.根據權利要求1所述的空氣隔離裝置，其特征在于：

其中，所述第一罩筒以及所述第二罩筒均由塑料制成。

10.一種激光干涉檢測設備，其特征在于，包括：

按照預定間隔設置的參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置；以及

空氣隔離裝置，安裝在參考平晶承載裝置和待測平晶承載裝置之間，用于隔離所述參考平晶承載裝置和所述待測平晶承載裝置之間的空氣以阻擋該空氣產生流動，

其中，所述空氣隔離裝置為權利要求1-9中任意一項所述的空氣隔離裝置。