[發(fā)明專利]一種波像差測量裝置及光刻機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910365328.6
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN111856885B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏建培;馬明英
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明公開了一種波像差測量裝置及光刻機(jī)。所述波像差測量裝置包括：照明系統(tǒng)，以及物面光柵板、投影物鏡、像面光柵板和光電探測器；物面光柵板和像面光柵板均為透明光柵板；物面光柵板包括物面光柵，物面光柵由多個(gè)間隔均勻的凸起部或凹陷部排列組成，凸起部的高度或凹陷部的深度為d；像面光柵板包括像面光柵，像面光柵由多個(gè)間隔均勻的凸起部或凹陷部排列組成，凸起部的高度或凹陷部的深度為d；其中，d＝λ(k+1/2)/(n_折?1)，λ為入射光的波長，k為正整數(shù)，n_折為對應(yīng)光柵板的折射率。本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案，提高了用于波像差測量的光的光強(qiáng)，以及波像差測量的精度，且物面光柵和像面光柵的制備工藝簡單，制備成本低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及波像差測量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種波像差測量裝置及光刻機(jī)。

背景技術(shù)

投影物鏡波像差是影響光刻機(jī)成像質(zhì)量的關(guān)鍵因素，對于高分辨率的光刻機(jī)投影物鏡波像差可以采用干涉的方法進(jìn)行測量。

現(xiàn)有技術(shù)中波相差測量裝置包括照明系統(tǒng)以及沿照明系統(tǒng)發(fā)出的光的光路依次設(shè)置的物面光柵、投影物鏡、像面光柵和探測器，其中，物面光柵和像面光柵均為振幅型光柵，這種光柵的衍射光具有很強(qiáng)的零頻光，導(dǎo)致干涉光除包括正負(fù)1級光外，還包括零頻光，使得正負(fù)1級光的干涉對比度下降，進(jìn)而波像差測量精度下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種波像差測量裝置及光刻機(jī)，以去除光柵衍射中的零頻光，提高用于波像差測量的光的強(qiáng)度，提高測量精度。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種波像差測量裝置，包括：

照明系統(tǒng)，以及沿所述照明系統(tǒng)發(fā)出的光的光路依次排列的物面光柵板、投影物鏡、像面光柵板以及光電探測器；

所述物面光柵板和所述像面光柵板均為透明光柵板；

所述物面光柵板包括物面光柵，所述物面光柵由多個(gè)間隔均勻的凸起部或凹陷部排列組成，所述凸起部的高度或所述凹陷部的深度為d；

所述像面光柵板包括像面光柵，所述像面光柵由多個(gè)間隔均勻的凸起部或凹陷部排列組成，所述凸起部的高度或所述凹陷部的深度為d；

其中，d＝λ(k+1/2)/(n_折-1)，λ為入射光的波長，k為正整數(shù)，n_折為對應(yīng)光柵板的折射率。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種光刻機(jī)，包括上述第一方面所述的波像差測量裝置。

本發(fā)明實(shí)施例提供的波像差測量裝置包括照明系統(tǒng)，以及沿照明系統(tǒng)發(fā)出的光的光路依次排列的物面光柵板、投影物鏡、像面光柵板以及光電探測器，物面光柵板和像面光柵板均為透明光柵板，物面光柵板包括物面光柵，物面光柵由多個(gè)間隔均勻的凸起部或凹陷部排列組成，凸起部的高度或凹陷部的深度為d，像面光柵板包括像面光柵，像面光柵由多個(gè)間隔均勻的凸起部或凹陷部排列組成，凸起部的高度或凹陷部的深度為d，其中，d＝λ(k+1/2)/(n_折-1)，λ為入射光的波長，k為正整數(shù)，n_折為對應(yīng)光柵板的折射率，使得物面光柵和像面光柵均為二元相移光柵，其衍射光中沒有零頻光和偶數(shù)級衍射光，僅有正負(fù)1級衍射光，提高了用于波像差測量的光的光強(qiáng)，以及波像差測量的精度，此外，物面光柵和像面光柵均采用刻蝕透明板材的工藝形成，其工藝過程簡單，制備成本低。

附圖說明

為了更加清楚地說明本發(fā)明示例性實(shí)施例的技術(shù)方案，下面對描述實(shí)施例中所需要用到的附圖做一簡單介紹。顯然，所介紹的附圖只是本發(fā)明所要描述的一部分實(shí)施例的附圖，而不是全部的附圖，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖得到其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種波像差測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種物面光柵板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；