[發(fā)明專利]電路封裝方法及封裝結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910362608.1 | 申請日: | 2019-04-30 |
| 公開(公告)號: | CN110112076B | 公開(公告)日: | 2020-11-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鄧世雄;陳書賓;孔令甲;任玉興;周彪;王磊;袁彪;湯曉東 | 申請(專利權(quán))人: | 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56;H01L23/31 |
| 代理公司: | 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120 | 代理人: | 陸林生 |
| 地址: | 050051 *** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電路 封裝 方法 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種電路封裝方法,其特征在于,包括以下步驟:
將功能電路(60)的輸入端連接輸入接口(30),輸出端連接輸出接口(40);
將功能電路(60)置入第一封裝體(10)中,并使輸入接口(30)的外端和輸出接口(40)的外端露出所述第一封裝體(10);
充入穩(wěn)定性氣體后將所述第一封裝體(10)密封;
將所述第一封裝體(10)裝入并固定于第二封裝體(20),并將所述第二封裝體(20)封閉,且使輸入接口(30)的外端和輸出接口(40)的外端同軸并反向設(shè)置且露出所述第二封裝體(20);
將所述第一封裝體(10)裝入并固定于第二封裝體(20)并將所述第二封裝體(20)封閉的步驟,還包括:
所述第一封裝體(10)外部設(shè)有外螺紋(11),在所述第二封裝體(20)內(nèi)部設(shè)有的、用于與所述外螺紋配合的內(nèi)螺紋(21)上涂布導(dǎo)熱劑;
將所述第一封裝體(10)通過螺紋結(jié)構(gòu)旋入所述第二封裝體(20)中;
在所述第一封裝體(10)和所述第二封裝體(20)之間填充導(dǎo)熱填充物。
2.如權(quán)利要求1所述的電路封裝方法,其特征在于,充入穩(wěn)定性氣體后將所述第一封裝體(10)密封的步驟,還包括:
向所述第一封裝體(10)內(nèi)加壓;
將所述第一封裝體(10)裝入并固定于第二封裝體(20)的步驟還包括:
將所述第二封裝體(20)密封,并對所述第二封裝體(20)減壓,使第一封裝體(10)內(nèi)外產(chǎn)生壓強(qiáng)差。
3.如權(quán)利要求1所述的電路封裝方法,其特征在于:所述第一封裝體(10)為鋁盒,所述功能電路(60)導(dǎo)熱性固定于所述鋁盒內(nèi),所述穩(wěn)定性氣體為氮?dú)?,所述鋁盒采用激光焊接進(jìn)行氣密性密封。
4.一種利用如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的電路封裝方法進(jìn)行封裝的電路封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
第一封裝體(10),用于密封封裝功能電路(60);
第二封裝體(20),內(nèi)部設(shè)有用于裝入所述第一封裝體(10)的空腔;
輸入接口(30),一端與所述功能電路(60)的輸入端連接,另一端穿過所述第一封裝體(10)和所述第二封裝體(20)延伸至所述第二封裝體(20)的一端外部;以及
輸出接口(40),一端與所述功能電路(60)的輸出端連接,另一端穿過所述第一封裝體(10)和所述第二封裝體(20)延伸至所述第二封裝體(20)的另一端外部;
所述輸入接口(30)和所述輸出接口(40)同軸并反向設(shè)置。
5.如權(quán)利要求4所述的電路封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一封裝體(10)外部設(shè)有外螺紋(11),所述第二封裝體(20)內(nèi)部設(shè)有與所述外螺紋配合的內(nèi)螺紋(21);所述外螺紋(11)設(shè)于所述第一封裝體(10)的中部或一端部,所述第一封裝體(10)的另一端部橫截面尺寸小于所述第二封裝體(20)內(nèi)部空腔的橫截面尺寸;所述第一封裝體(10)外部設(shè)有不與所述內(nèi)螺紋(21)接觸的缺口槽(12)。
6.如權(quán)利要求4所述的電路封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第二封裝體(20)兩端均設(shè)有用于與使用設(shè)備連接的螺紋接口,所述輸入接口(30)包括兩端分別用于與所述功能電路(60)的輸入端和所述第二封裝體(20)的一端連接的輸入針,所述輸出接口(40)包括兩端分別用于與所述功能電路(60)的輸出端和所述第二封裝體(20)的另一端連接的輸出針,且所述輸入針與所述輸出針的軸線重合。
7.如權(quán)利要求6所述的電路封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二封裝體(20)包括:
套筒體(22),內(nèi)部設(shè)有所述空腔;
第一封堵接頭(23),一端用于與使用設(shè)備連接,另一端用于與所述套筒體(22)一端連接,中部設(shè)有用于所述輸入接口(30)穿過的第一通孔;以及
第二封堵接頭(24),一端用于與使用設(shè)備連接,另一端用于與所述套筒體(22)另一端連接,中部設(shè)有用于所述輸出接口(40)穿過的第二通孔。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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