[發明專利]掩膜版清潔裝置及方法

在審

• 申請號: 201910361336.3
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN110000142A
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 劉蘇偉;王善鶴;楊碩;袁亞鴻;張琪;張孟湜;張杰;古春笑
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/14
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發明實施例涉及顯示技術領域，公開了一種掩膜版清潔裝置及方法，所述掩膜版清潔裝置包括：用于容納掩膜版的腔室以及噴灑結構，所述噴灑結構用于向所述掩膜版噴灑霧狀清潔液。本發明提供的掩膜版清潔裝置及方法能夠在將掩膜版清洗干凈的同時，不損傷掩膜版。

技術領域

本發明實施例涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜版清潔裝置及方法。

背景技術

隨著顯示技術的急速進步，作為顯示裝置核心的半導體元件技術也隨之得到了飛躍性的進步。對于現有的顯示裝置而言，有機發光二極管(OLED)作為一種電流型發光器件，因具有自發光、快速響應、寬視角和可制作在柔性襯底上等特點而越來越多地被應用于高性能顯示領域當中。在OLED的制備過程中，常采用真空蒸鍍工藝結合掩膜工藝形成圖案化的薄膜層。即利用掩膜版通過步進式位移在基板的表面依次蒸鍍上紅色、綠色以及藍色的有機電致發光材料。在此過程中，產生的掩膜污染物會吸附在掩膜版上，并可能造成掩膜版開口處的堵塞。

現有技術中，為了解決上述掩膜版污染的問題，一般采用電解法或者水簾清洗的方式去除掩膜版表面的污染物。

發明內容

本發明實施方式的目的在于提供一種掩膜版清潔裝置及方法，其能夠在將掩膜版清洗干凈的同時，不損傷掩膜版。

為解決上述技術問題，本發明的實施方式提供了一種掩膜版清潔裝置，包括：用于容納掩膜版的腔室以及噴灑結構，所述噴灑結構用于向所述掩膜版噴灑霧狀清潔液。

本發明的實施方式還提供了一種掩膜版清潔方法，包括：提供一種上述的掩膜版清潔裝置；利用所述掩膜版清潔裝置向掩膜版表面噴灑霧狀清潔液；優選地，利用超聲波震蕩器震蕩噴嘴，以使所述噴嘴向所述掩膜版表面噴灑霧狀清潔液；或者，利用霧化器向所述掩膜版表面噴灑霧狀清潔液。

本發明的實施方式相對于現有技術而言，通過設置腔室以及噴灑結構，使得在清洗掩膜版時，掩膜版可以放置在腔室中，然后經由噴灑結構向掩膜版噴灑霧狀清潔液，使得清潔液能夠與掩膜版表面接觸，從而將掩膜版表面的污染物清洗干凈；又由于清潔液呈霧狀，使得噴出的清潔液液滴尺寸大幅度減小，減小了清潔液對掩膜版的沖擊力，有效的避免了“非霧狀清潔液的液滴尺寸較大，使得清潔液對掩膜版的沖擊力較大，容易造成掩膜版的損傷”的情況的發生，從而能夠在將掩膜版清洗干凈的同時，不損傷掩膜版。

另外，所述噴灑結構包括震蕩器以及與所述震蕩器連接的噴嘴，所述噴嘴的噴頭位于所述腔室中，所述震蕩器震蕩所述噴嘴，以使所述噴嘴噴出所述霧狀清潔液。優選地，所述震蕩器為超聲波震蕩器；通過震蕩器對噴嘴進行震蕩，使得在噴嘴的震蕩作用下，能夠將噴嘴原本會噴出的大尺寸液滴被震蕩為尺寸大幅度減小的小尺寸液滴。

另外，所述震蕩器的數量為一個或多個，每個所述震蕩器均對應設置有一個或多個所述噴嘴。通過設置多個噴嘴，使得多個噴嘴噴出的清潔液共同形成的覆蓋面更廣，也就是說，能夠盡可能的將清潔液噴灑至置于腔室中的掩膜版的各個表面，即掩膜版的各個表面均能與清潔液接觸，進而能夠最大限度的去除掩膜版表面的待清洗物；通過設置多個震蕩器，可以對不同的噴嘴使用不同頻率的震蕩器進行震蕩；通過設置一個震蕩器，能夠將掩膜版清洗干凈的同時，不增加掩膜版清潔裝置的生產成本。

另外，所述噴嘴內設有毛細管，所述霧狀清潔液經所述毛細管由所述噴頭噴出。由于毛細管的直徑小于噴頭的直徑，通過在噴嘴內設置毛細管，使得清潔液可以經由直徑更小的毛細管噴出，從而進一步降低了噴嘴噴出的清潔液液滴尺寸大小。

另外，所述噴灑結構包括霧化器，所述霧化器用于向所述腔室內噴灑所述霧狀清潔液。

另外，所述腔室為真空腔室。通過將腔室設置為真空腔室，使得腔室處于負壓狀態(噴嘴內為常壓)，從而能夠將噴嘴內的清潔液吸出，以使噴嘴內的清潔液能夠噴灑在位于真空腔室內的掩膜版上。